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平均速率

最可几速率
方均根速率

一个气体分子在两次碰撞之间的平均距离:
n:单位体积内的分子数;
d:气体分子的直径

即单位面积上气体分子的通量
克努森方程
因子1/4是对气体分子运动方向和运动速度分布进行数学平均时得到的一个系数。

衬底完全被一层分子覆盖所需时间:
N为表面原子密度
常温常压下,10-9s,而在10-8Pa的高真空中,这一时间为10h。所以在薄膜制备技术中获得和保持适当的真空度是很重要的。
5真空度
真空度的常用单位为帕(Pa)或托(Torr):
1Torr=133Pa
真空度可分为:
低真空:102Pa 工业应用(包装)
中真空:102~10-1Pa CVD沉积技术
高真空:10-1~10-5Pa 溅射沉积技术
超高真空:10-5Pa 原子表面和界面分析

气体的无规则热运动本身不能导致气体的宏观流动,只有在空间存在压力差的条件下,气体作为一个整体才会产生宏观的定向流动。
气体流动取决于容器形状,气体气压,温度及气体种类。

气体流动状态分类
分子流状态:分子间无相互碰撞(高真空度)
粘滞流状态
分子间碰撞平繁(中、低真空度)
层流状态:低速流情况
涡流状态:高速流情况

气体流动可按克努森准数来划分:Kn=D/
D为容器尺寸;为平均自由程
分子流状态:Kn1
中间状态:Kn=1~110
粘滞流状态:Kn110

尺寸和气体压力之间的关系

真空管路中气体的通过能力,流导C定义为
P1和P2为管路两断的气压,Q为单位时间内通过管路的气体流量。
对分子流状态的气体:流导与气体压力无关
A:管路截面积
对粘滞流,流导随气体的压力呈现复杂变化