第二章真空镀膜技术的物理.ppt

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对于膜材粒子(蒸汽或溅射颗粒)的空间输运过程,常借用平衡态理想气体分子运动论的方法和结论,来描述镀膜过程中的残余气体、工作气体、甚至金属蒸汽的性质。
Perfect(ideal)gasesatequilibriousstates
1)气体分子的速度分布—麦氏分布
Maxwelldistributionofmolecularvelocities
速率分布
2)分子间的空间平均碰撞次数—平均碰撞率
Themeannumberofmolecularcollisions—collisionrate
S-1
20℃,1atm,air
=×109s-1
3)离子、电子在气体分子中的平均碰撞次数
Themeannumberofioncollisionsingas
=×103m/s
s-1
Themeannumberofelectroncollisionsingas
s-1
air
=×105m/s
4)气体分子、离子、电子的平均自由程
Meanfreepathofgas
m
Meanfreepathofmistralgas
Meanfreepathofionsingas
Meanfreepathofelectronsingas
5)自由程分布率Distributionoffreepath用于计算工作压力
gas
ionsingas
electronsingas
6)气体分子入射率Impingementrate—余弦定律Knudsonlaw
数量Numbers-1m-2
体积Volumem3s-1m2
质量Masskgs-1m-2
方向Direction