文档介绍：第卷第期年月物理学报
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垂直取向!"#$%&’纳米颗粒薄膜的结构和磁性!
李宝河!)") 黄阀!)#) 杨涛!) 冯春!) 翟中海!) 朱逢吾!)
)
!(北京科技大学材料物理与化学系,北京!$$$%#)
)
"(北京工商大学数理部,北京!$$$#&)
#() 金日成综合大学物理系,朝鲜平壤)
("$$’年!" 月!$ 日收到;"$$( 年! 月) 日收到修改稿)
用磁控溅射法在单晶( )基片上制备了[ ] 多层膜,经真空热处理后,得到具有高矫顽
*+, !$$ -./0 " 1234+ !12 !$
力的垂直取向颗粒膜射线衍射结果表明,在的热基片上溅射,当层厚度—时,
5!$ 6-./034+ 7 8 "($ 9 4+ ! : # !! 12
颗粒具有很好的[ ]取向,随着层厚度的增加, 颗粒尺寸减小[ ] 经过真空
-./0 $$! 4+ -./0 7 -./0 " 1234+ ; 12 !$ )$$ 9
热处理!( 2<1 后,颗粒大小仅约% 12,垂直矫顽力达到);" =4327 这种无磁耦合作用的颗粒膜,适合用作超高密度
的垂直磁记录介质 7
关键词:磁控溅射,垂直磁记录,纳米颗粒膜,
5!$ 6-./034+
#&((:&(($>,&(&$-
耦合作用 7
!@ 引言在*+,(!$$)单晶基片上,利用基片加热,外延
生长的-.3/0 多层膜或超薄-./0 薄膜具有很好的
随着硬磁盘面记录密度的逐年提高,作为磁记
[$$!]取向 7 但往往需要很高的基片温度(高于($$
录的最小单元单畴磁性颗粒尺寸也必须减小,过小
9),而且与非磁性物质形成颗粒膜时,垂直取向变
的颗粒会由于超顺磁效应而失去记录的信息克服
7 差 7JK1+ 等采用脉冲激光沉积方法在冷*+,(!$$)
超顺磁效应的办法是利用更高磁晶各向异性的磁性
单晶基片上制备的-./034+ 多层膜,经)#$ 9真空热
介质替代目前普遍采用的基合金薄膜有序的
ABAC 7 处理得到垂直取向很好的纳米复合薄膜 7 但由于采
合金薄膜具有非常高的磁晶各向异性能用合金靶,薄膜成分偏离靶成分,得到的薄
5!$ 6-./0 -.($ /0($
( ) # ),预计在颗粒尺寸小于时仍具有[ , ]
& D !$ E3F2 ( 12 膜矫顽力比较低(低于"#; =432); !$ 7
非常好的热稳定性[!] 垂直磁记录方式可以比目前
7 本文报道利用磁控溅射法精确控制-./0 共溅
普遍采用的纵向磁记录方式记录密度提高一个数量
射时的成分,在"($ 9基片温度下沉积-./034+ 多层
级,但垂直磁记录介质需要具备垂直膜面的磁易轴膜,再经真空热处理获得了高矫顽力、垂直取向和无
取向