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G-Q-S07-21-01F3
化学实验室操作规范
制(修)订记录
日期版序页次章节内容改变记录制(修)订人2003/8/18A1全全TS16949新建姚华民2003/10/24B1全全重新制订姚华民
P53-1~2附件十六增加四楼棕化线分析方法
P53-3附件十七2004/2/16B2各生产线分析时间姚华民
P67附表一分析控制表
P53-4附件十八增加手动化锡线分析方法
P53-5~6附件十九四楼内层前处理DES线分析方法2004/3/12B3姚华民P53-6附件二十增加实验室分析作业流程
P67附表一分析控制表
2004/5/10C1全全重新制定姚华民2004/7/28D1全全重新制定姚华民2004/10/10E1全全重新制定姚华民2005/01/04F1全全重新制定姚华民
附件二十四P74-1~2增加水平化锡线分析方法2005/02/16F2姚华民P76~95附表一分析控制表
P153-2更改注意事项2005/3/30F3姚华民P76~95附表一分析控制表
附件二十五P74分析添加及停线调整规定
P76-96分析控制表增加补料标准2005/4/15F4杜润附件二十四P74添加水平化锡酸当量补加方法
P96修改加料通知单
制(修)订人审核核准会审
硬生产部软生产部组装部
市场部质管部工务部
工程部管理部生管部
采购部物管部财务部
信息部
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湿过程中的所有化学过程
(1ml;2ml;5ml;10ml;25ml;等)
(50ml;100ml;250ml;500ml;1000ml等)
(50ml酸式;碱式)
(250ml)
(250ml)
(10ml;20ml;50ml;100ml)
(1000ml、2000ml)
(10ml;25ml;50ml;100ml;500ml;1000ml)
(#203)
测定溶液PH值)(
(测量需在可见光范围内的物质)
(测量需在紫外光及可见光范围内的物质)
(测量痕量金属离子)
(干燥用)
3(0分析目录
显影液----碳酸钠(g/L)工段:DES
槽液体积:350L
试剂:
步骤:1、取10ml样品至烧杯中,加DI水50ml,加酚酞3滴
2、:碳酸钠(g/L)=VxM(HCl)
蚀刻液----HCl(M/L)工段:DES
槽液体积:700L
试剂:
***橙()
步骤:1(取1ml样品至250ml锥形瓶中,加50mlDI水,加2-3滴***橙,
溶液呈红色。
2(:HCl(M/L)=NaoH浓度xNaoH体积添加量:HCl(L)=700x(?HCl(M/L)/(以31%HCl计)
2+蚀刻液----Cu(ml/L)工段:DES
槽液体积:700L
试剂:
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Cl溶于DI水,加350ml氨水至1PH=10的氨水缓冲溶液(54gNH4
升。
PAN指示剂()
步骤:1(取1ml样品至25ml容量瓶中,稀释至刻度。
2(取10ml稀释后的溶液于250ml锥形瓶中,加50mlDI水,
加5ml缓冲溶液,加2-3滴PAN指示剂。
3(。
2+计算:Cu(g/L)=EDTA二钠浓度xEDTA二钠(mls)
2+添加量:CuCl(Kg)=105?(g/L)2
去膜液---NaOH(g/L)工段:DES
槽液体积:900L
试剂:
指示剂(%乙醇)
步骤:1(取5ml样品至250ml锥型瓶,加50mlDI水,加4-5ml滴
酚酞指示剂
2(
计算:NaOH(g/L)=硫酸浓度x硫酸(mls)x16添加量:添加量(L)=[(35?分析值)/350]x槽积(900L)
脱膜液---CT-1035(%)
分析方法一:
步骤:
,并滴入4-5滴的***橙指示剂
计算:CT-1035浓度(v%)=()%
分析方法二:
步骤:
,并滴入4-5滴的***橙指示剂
计算:CT-1035浓度(v%)=()%
化学清洗线微蚀液-----过硫酸钠(g/L)工段:化学清洗线
槽液体积:300L
试剂:
1:1的硫酸
KI粉末
淀粉溶液(1g淀粉溶于100mlDI水)
步骤:1(取2ml样品至250ml锥型瓶,加50mlDI水,加5ml1:1的硫酸
再加3gKI粉末,暗处放置30min。
2(放置30min后加淀粉溶液。
3(。终点由红褐色变为乳白色。
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计算:过硫酸钠(g/L)=硫代硫酸钠浓度x硫代硫酸钠(mls)
添加量:过硫酸钠添加量(Kg/L)=[(60?分析值)x300
化学清洗线微蚀液-----硫酸(V%)工段:化学清洗线
槽液体积:300L
试剂:***橙()
步骤:1(取1ml样品至250ml锥型瓶,加50mlDI水,加3滴***橙
2(用NaOH滴定至红色变黄色为终点.
计算:硫酸(v%)=NaOH浓度xNaOH(mls)(以98%硫酸计)
SO(98%)(L)=[4-v]x300添加量:H24
2+化学清洗线微蚀液----Cu(g/L)工段:化学清洗线
槽液体积:300L
试剂:
PH=10的氨水缓冲溶液(54gNHCl溶于DI水,加350ml氨水至14
升。
PAN指示剂()
步骤:1(取1ml样品于250ml锥形瓶中,加50mlDI水,
加5ml缓冲溶液,加2-3滴PAN指示剂。
2(
2+计算:Cu(g/L)=EDTA二钠浓度xEDTA二钠(mls)
KAPTONETCH槽KOH分析步骤:取样2ml至250ml锥形瓶中,加水50ml,加酚酞指示剂2-3滴,
定至红色褪去,保持10秒不变,记录滴定体积V计算:KOH(g/l)=
整孔槽分析方法
工段:,,,整孔
槽液体积:173L
一、NaOH的分析
1(试剂:
(1)
(2)酚酞(PP)指示剂(1g酚酞溶于100ml乙醇)
(3)
2(步骤:
(1)取试样10ml,加60ml纯水;
(2);2
(3)滴加3滴酚酞(PP)指示剂;
(4)。
3(计算:
NaOH(g/l)=滴定毫升数×HCl浓度×
4(控制范围:3—5g/l
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二、整孔剂
1(准备:
UV
2(步骤:
(1)取样2ml至100ml容量瓶,加纯水至刻度线混合均匀;
(2)以UV计调整波长于274nm测其吸光度。
3(计算:
整孔剂(ml/l)=(吸光度—)/(×2)×85
微蚀槽分析方法
工段:,,,微蚀
槽液体积:180L
一:SPS
试剂:
1:1的硫酸
KI粉末
淀粉溶液(1g淀粉溶于100mlDI水)
步骤:1(取2ml样品至250ml锥型瓶,加50mlDI水,加5ml1:1的硫酸
再加3gKI粉末,暗处放置30min。
2(放置30min后加2ml淀粉溶液。
3(。终点由红褐色变为乳白色。计算:过硫酸钠(g/L)=硫代硫酸钠浓度x硫代硫酸钠(mls)
试剂:***橙()
步骤:1(取1ml样品至250ml锥型瓶,加50mlDI水,加3滴***橙
2(.
计算:硫酸(v%)=NaOH浓度xNaOH(mls)(以98%硫酸计)
SO(50%)(L)=[-v]x180添加量:H24
2+(g/L)
槽液体积:180L
试剂:
PH=10的氨水缓冲溶液(54gNHCl溶于DI水,加350ml氨水至14
升。
PAN指示剂()
步骤:1(取1ml样品于250ml锥形瓶中,加50mlDI水,
加5ml缓冲溶液,加2-3滴PAN指示剂。
2(
2+计算:Cu(g/L)=EDTA二钠浓度xEDTA二钠(mls):一般微蚀槽分析都按此方法。
预浸槽分析方法
工段:,,,预浸
槽液体积:180L
一、预浸剂
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1(试剂:
(1)1MBaCl2
(2)酚酞(PP)指示剂
(3)
2(步骤:
(1)取试样5ml,加纯水25ml;
(2)加3滴酚酞(PP)指示剂;
(3)
3(计算:
预浸剂(ml/l)=滴定毫升数×盐酸浓度×8二、硫酸
1(准备:
(1)***橙(MO)指示剂
(2)
1(操作:
(1)取样1ml加100ml纯水;
(2)加3滴***橙(MO)指示剂;
(3)。2(计算:硫酸(ml/l)=滴定毫升数×NaOH浓度×
活化剂Pd分析方法工段:,,,活化
槽液体积:180L
一、活化剂
1,钯的测定:取5ml于100ml容量瓶中稀释至刻度,用原子吸收测定
2,计算:Pd(ml/l)=测定结果x4
3,控制范围:15-20g/l
二、活化槽PH值测定
1、以PH=7及10标准液校正PHmeter
2、测SamplePH值(注意温度)
还原剂GT分析方法工段:,,,还原
槽液体积:180L
一、还原剂:
1、准备:
(1)PH=4醋酸缓冲液
(2)淀粉溶液
(3)
2、操作:
(1)取试样25ml,加PH=4醋酸缓冲液10ml,加纯水40ml;
(2)加入1—2ml淀粉溶液;
(3)(或褐色)为终点。
3、计算: