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优选功能薄膜材料
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薄膜材料的分类(按材质分)
(结构性,功能性)
、陶瓷薄膜材料(结构性,功能性)
、聚合物薄膜材料

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薄膜材料的分类(按功能分)
力功能薄膜材料
(超硬薄膜材料超润滑薄膜材料)
磁功能薄膜材料
(高透磁率薄膜材料巨磁阻薄膜材料)
光功能薄膜材料
(红外反射薄膜材料隐身薄膜材料)
电功能薄膜材料
(超导薄膜材料)
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薄膜材料的应用
一、表面改性
二、耐磨及表面防护涂层
三、能量变换薄膜与器件
四、传感器
五、集成光学器件
六、磁记录薄膜和光存储薄膜
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一、表面改性
1、表面改性的定义
就是在保护块状材料固有特性的优点基
上,仅对表面进行加工处理使其产生新的物
理、化学特性以及所需要的功能的各种方
法,统称表面改性。
表面改性不仅可以提高经济效益,而且
对于节省资源、能源、开发材料新功能,提
高可靠性,实现轻薄短小化等都具有十分重
要的意义。
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2、表面改性的手段
(1)表面处理技术(形成表面改性层)
通过物理的或化学的手段,在物质表面层中引入反应成分,形成混合相或合成相,从而产生新的功能和材料特性。
(2)膜沉积技术(形成复合多层膜)
在基体材料表面析出或沉积有别于基体材料的膜层,从而显示新的功能和材料特性。
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3、用于表面改性的主要方法

离子注入、等离子体表面处理、激光表面
处理

PVD法、CVD法
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二、耐磨及表面防护涂层
1、硬质涂层
主要用途:各种切削***、模具、工具和摩擦零件,比如TiN和TiC涂层。
主要组成:基底(合金)+涂层(陶瓷)
主要制备方法:CVD和PVD(蒸发、溅射、离子镀)
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切削***、模具
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