文档介绍：单通道控制器
VGC 401
使用说明书
产品标识与INFICON联系时,请告知产品名牌上的信息。为便于参考,现将名牌上的信息表示如下:
有效性本说明书用于件号为398-010的产品。
件号(PN)可从产品名牌上看到。
本说明书件基于固件版号302-519-A。
如你的仪器工作与本文件的说明不符,请检查是否与上述固件版
号( 48)相符。
我们保留本说明书不事先通知的技术修改权。
全部尺寸均用毫米表示。
用途 VGC401与INFICON生产的规管同时使用,用于真空系统的总压强测量。全部产品必须按产品说明书使用。
供货范围 1件 单通道控制器
1根 电源电缆
1根 橡皮条
2个 橡皮脚
4个 凹槽螺丝
4个 塑料套管
产品标识
有效性
用途
供货范围
1 安全
使用符号
人员要求
一般安全规则
责任与保修
2 技术参数
3 安装
人员
安装,设置
机架安装
安装在控制屏内
用作桌上式仪器
电源连接
传感器连接
控制器连接
RS232接口连接
4 运行
面板
VGC401的On和Off
工作模式
测量模式
参数模式
参数
测试模式
参数
测试程序
5 维护
6 故障查找
7 检修
8 附件
9 储存
10 废物处理
附录
A. 转换表提供的压强传感器
B. 缺省参数
C. 软件升级
D. 文献
E. 索引
质量保证书
参考在本说明书内的内容使用符号( XY)。参考“文献”中的内容使用符号([Z])。
使用符号
其它符号
灯亮
灯闪
灯黑
按此键(例:’para’键)
不要按任何键.
人员要求
一般安全规则对于全部要进行的工作,必须遵守规章制度和采取必要的预防
措施和考虑本说明书中的安全规则。
向所有其他用户通报安全信息。
责任与保修如最终用户或第三方发生以下情况,INFICON将不承担赔偿
责任和保修将不再有效。
● 不顾本说明书中的信息。
● 不适当地使用产品。
● 对产品作任何干预(修改,变更等)
● 产品使用非产品说明中所列附件,选件和添加件。
电源要求电压 90 . . . 250VAC
频率 50 . . . 60Hz
功耗≤30VA
过压类别 II
保护等级 1
连接欧洲仪表连接件IEC 320 C14
环境温度
储存–20 …+60 °C
运行+ 5 …+50 °C
相对湿度高至≤80%+31°C,低至50%+40°C
污染级别 II
保护类型 IP30
兼容真空计数量 1
兼容型号
皮拉尼 PSG (PSG400, PSG400-S,
PSG100-S,PSG101-S)
皮拉尼/电容 PCG (PCG400,PCG400-S)
冷阴极 PEG (PEG100)
热阴极 BAG (BAG100-S,BAG101-S)
热阴极/皮拉尼 BPG (BPG400)
HPG (HPG400)
电容 CDG (CDG025,CDG045,
CDG045-H,CDG100)
规管连接数量 2 (平行)
不要同时连接一个以上的规管.
传感器连接件 15脚D-Sub,插座
RJ45(FCC68),插座
(接脚分配 23)
操作面板通过3个按键
HOST(遥控) 通过RS232C接口
测量值测量范围取决于规管
(g[2] …[12])
测量误差
增益误差≤%FSr
偏移误差≤%FSr
测量速率
模拟 100/s
数字 50/s(BPG)
10/s(BAG)
显示速率 10/s
过滤时间常数
慢 700ms(fg = Hz)
常规(nor) 150ms(fg = 1 Hz)
快 20ms(fg = 8 Hz)
压强单位毫巴,帕,乇,微米***柱
零点调节用于线性规管
校正因素用于对数规管
. . .
A/D变换器分辨率>% FSr
(BPG,HPG和BAG的测量值由数字传送)