文档介绍：第��卷第�期�光学精密工程����.�����.��
����年�月�������������������������������������.�����
文章编号�����—������������—����—���
微流体数字化技术制备聚合物微透镜阵列�
朱晓阳,侯丽雅�,郑�悦,王洪成,章维一�
�南京理工大学机械工程学院,江苏南京��������
摘要:基于微流体数字化技术搭建了聚合物微透镜阵列按需喷射制备实验系统。以��固化胶为喷射材料,将其按需喷�
射到镀有疏水化薄膜的玻璃基片上,在界面张力和疏水化效应的作用下,形成平凸状的微液滴,再经紫外光固化后形成�
微透镜阵列。实验研究了系统参量对稳定微喷射与微透镜直径的影响,稳定微喷射出了黏度值为��×���。���· �的�
��胶,制得了最小直径达��/��的微透镜,进而制备出了直径变异系数�· �达�.���、焦距均匀性误差为�.��的�
��×��微透镜阵列。微透镜在扫描电子显微镜下具有较好的表面形貌,采用白光干涉/轮廓仪����模式�测得其轮廓算�
术平均偏差��为���.������扫描区域:��.���×��.����,扫描区域轮廓曲线平滑。通过微透镜阵列的成像实验,得�
到了微透镜阵列所成的清晰实像。实验结果表明,采用微流体数字化技术进行聚合物微透镜阵列的按需喷射制备过程�
简单、成本低廉、工艺参数稳定;制备的微透镜阵列几何与光学性能优越。�
关键词:微光学器件;微流体数字化;按需喷射;紫外光固化胶;聚合物微透镜阵列�
中图分类号:����;������文献标识码:�����:��.����/���.��������.�����
����������������������������。��������������������。����������������������
��������—����,�����.�����,���������,���������—�����,���������—���
���������������������������������,����������������������������������
����������,��������������,�������
��������������������,������:����������
—���������.����
��������:������������������������������������������������������������,�������������������������������
����—��—���������������������������������������—��������������������������.������—�����������
�������������������������������������������������������������������������������������������������������—�
�����������. ����,���������������������