文档介绍：M0315-3/UM型制绒清洗机
使用说明书
中国电子科技集团公司第四十八研究所
2008年9月
目录
1、概述 1
设备概要 1
设备组成 1
设备描述 1
1
2、工艺流程 2
2
2
2
3、设备技术参数 3
3
3
4、设备基本组成 4
4
4
8
9
9
5、安装、调试及试运行 11
11
11
12
6、维护保养及服务 12
12
14
7、控制部分操作与使用 15
15
16
19
23
25
1、概述
设备概要
本设备主要功能是对太阳能电池硅片进行扩散前的清洗处理,是一个集制绒、清洗处理为一体的全自动设备。
设备组成
此清洗设备主要由主体、工艺槽、移载机械手、管道系统、电气控制系统等部分组成。
设备描述
1)此设备是一个全自动的处理设备。
2)清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。
3)。
4)伺服传动机械臂,运行平稳,定位精准。
5)由移载机械手运输,经去损伤、制绒、漂洗、中和、漂洗等工艺组成一条全自动连续工作的清洗装置。
6)清洗作业员将装满工件的工件筐放置在进料台上,由移载机械手将工件筐依次送到各处理工位,对工件进行去损伤层、制绒腐蚀、清洗,然后工件由机械手移到出料台上,由作业员将工件筐取出,进行下一步的处理。
→将欲处理工件放于上料传输链上
→由移载机械手依次将工件送到各处理工位
→将已经处理过的工件人工转移
2、工艺流程
Si片 125×125×
135×135×
156×156×
→上料→去除损伤层→漂洗→制绒面→漂洗→喷淋→HF→漂洗→HCL→漂洗→喷淋→下料
工序名称
辅助
处理液
时间
温度
槽体
材质
自动盖
浓度
抽风
1
去损伤层
鼓泡
NaOH
4min
85-90℃
SUS316
自动盖
20%
有
2
漂洗
鼓泡
DI水
4min
RT
PP
/
/
/
3
制绒面
鼓泡
HNO3
~15min
RT
PVDF
自动盖
有
4
5
6
制绒面
鼓泡
NaOH
~25min
60-90℃
SUS316
自动盖
2%
有
7
8
9
漂洗
鼓泡
DI水
6min
RT
PP
/
/
/
10
喷淋
/
DI水
6min
RT
PP
自动盖
/
/
11
中和
鼓泡
HF
20s
RT
PP
/
3~7%
有
12
漂洗
鼓泡
DI水
6min
RT
PP
/
/
/
13
中和
鼓泡
HCL
6min
RT
PP
/
3~7%
有
14
漂洗
鼓泡
DI水
6min
RT
PP
/
/
/
15
喷淋
/
DI水
6min
RT
PP
自动盖
/
/
备注:1、表中处理时间及浓度等参数仅供参考,具体以用户操作为准。
2、序号3和4及5、序号6和7及8为并行工序,工作时选择分别进入其中一工序即可。
3、满足节拍为10min/筐。
3、设备技术参数
Si片
125 X 125 X
135 X 135 X
156 X 156 X
10min/筐
300片/筐
L600×W670×H378
40Kg
1)设备形式:室内放置型;
2)设备外形尺寸:L16570×W2300×H3000;
3)电源:总功率~130KW,三相380±10%,50Hz(5线制),操作控制回路:DC24V,SOL:AC220V;
4)DI水:压力3-5Kg/cm2,流量2m3/h(max),接管口径1";
5)压缩空气:-,流量20m3/h,接管