文档介绍：!"!# $%&’(% ) *%(+,-.-/0
基于!"!# 的$%&% 形状记忆合金
薄膜研究进展
张文彦!! "! 江雷"! 奚正平!
"!#西北有色金属研究院! 西安$!%%!&# "#中国科学院化学研究所! 北京!%%%’!$
摘要! 系统论述了近年来()*) 形状记忆合金%+,-& 薄膜在,.,+ 技术中的应用研究’主要从
该材料的特点在,.,+ 中的应用原理( 制备技术方面进行了论述# 探讨了,.,+ 技术中()*)
合金应用的关键技术( 存在问题及发展前景’
关键词! ()*) 合金# 薄膜# 微机电系统
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满足其在+,+" 中微型化’集成化器件中的应用
! 引言
需要而发展起来的新型材料& 与体材料相比其响应
形状记忆合金!"#$" 是一类特殊功能材速度大幅度提高% 此外& 形状记忆合金薄膜还具有
料#%$% 它在外场!温度场或电场" 作用下发生马以下优点( 功密度高& 输出位移大) 薄膜表面积-
氏体相变& 能恢复大的塑性变形& 并且其恢复力可体积的比值极高) 电阻率适于用焦耳热驱动执行
对外做功% 早在上世纪&’年代研究人员就利用合器) 电加热时需要的驱动电压极低% 这些优越的性
金这个特点制备各种驱动元件% 这类元件中形状记能大大开拓了形状记忆合金在+,+" 领域中的应
忆合金既是驱动材料又是结构材料& 兼有温度传感用& 也使得形状记忆合金薄膜的制备与应用成为材
器与执行元件两种功能& 从而使制备的微执行器具料’工程’微机械领域的一个研究热点%
有结构设计简单’可靠性好’可重复使用等特点& 目前& 形状记忆合金薄膜主要包括./0/&
因此备受应用领域关注#