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CMOS工艺流程.ppt

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CMOS工艺流程.ppt

文档介绍

文档介绍:集成电路制造技术
主讲:毛维
mwxidian@
西安电子科技大学微电子学院
CMOS PROCESS FLOW INTRODUCTION
加热器1
加热器2
加热器3
压力 控制器
气体流量 控制器
晶圆操作控制器
晶舟 装载器
排出 控制器
温度控制器
微控制器
垂直式热氧化炉管系统
HMDS:六***乙硅氮烷——(CH3)6Si2NH
作用:去掉SiO2表面的-OH,增强附着力

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