文档介绍：Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX 介绍
GQA
SEM/EDX 介绍
Serve through People……Connect through Technology
一:SEM/EDX基本原理
二:样品制备
三:参数选择
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理: 二次电子和背散色电子
二次电子SE:二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子,进行SEM分析。
二次电子SE特点:
,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理: 二次电子和背散色电子
2. 它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注: 并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如,钨灯丝电子枪,当加速电压很低时<,信息流失,不适合观察。
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理
背散射电子:背散色电子检测器接受入射电子与试样产生背散射电子(BSE), 进行SEM分析(主要分析样品组成,不同元素颜色分界明显。右图背散射电子像显示试样中金和镍的镀层组成信息。)
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理
背散射电子应用:
,它能区分不同元素原子量。因此不同元素物质颜色分界明显。主要用来分析试样的组成。如背散射电子图中,元素原子量较低部分的颜色较灰暗。如下Au,Ni镀层背散射电子图,原子量较小的Ni-P层颜色比原子量大的Au部分灰暗,Au层比较明亮。备注:Au原子量=79,Ni原子量=28,P原子量=15
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理
背散射电子应用:
2. 如果ENIG keypad上有机污染,在背散射电子图中可以看到明亮的keypad上有其它黑色物质,这是因为有机物主要由C元素组成(C的原子量为6),而金的原子量为79,所以在图上,含C物质比keypad灰暗。
含C污染物
金面
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX基本原理
SEM/EDX一体化分析:SEM/EDX能谱仪接受入射电子与试样产生的特征X射线, 二次电子(或背散色电子进行)进行SEM/EDX分析,在SEM监视器及EDX监测器上显示相关SEM图像分析及EDX数据分析。
Serve through People……Connect through Technology
SEM/EDX能谱仪介绍
能谱仪系统主要由以下几个部分组成:
电源供应器,为x-stream提供24v直流电源
X-stream控制器(包含数字脉冲处理器,从探测器接收电信号,测量并计入相应通道, 从而在谱图相应位置获得峰谱)
Mics控制器(与SEM/TEM的图像接口相连接,实现图像获取)
探测器(探测X射线信号并转换为电信号)
计算机系统(运行微分析应用软件)
仪器介绍:
计算机系统
SEM/EDX样品制备
Serve through People……Connect through Technology
样品制备注意事项:
针对有机物试样,由于熔点低,会受到热的影响,再加上导电性差,所以样品在制备时候必须做一些特殊制备,否则会影响SEM图像质量。