实验3 椭圆仪测量薄膜厚度.ppt

文档介绍：实验3 椭圆仪测量薄膜厚度
目录
实验目的
实验原理
实验设备
实验步骤
一、实验目的
结合传统的测试方法去理解自动椭圆偏振测厚仪的工作原理,并且熟悉其操作的软件平台;
用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。
二、实验原理
使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波片,使它变成椭圆偏振光入射在待测得膜上。反射时,光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化,便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
三、实验设备:自动椭圆偏振测厚仪光路图
测试
完成
三、实验设备:SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪
三、实验设备:软件界面
四、实验步骤
同时也要保证反射光进入接收端小孔
1、设置光源
2、设置入射角
3、设置衬底
同时也要设置设备的入射角
四、实验步骤
1、点击设置
2、设置测量方式为快速测量
四、实验步骤
点击开始进行测量