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真空计说明书.doc

上传人:小辰GG1 2021/8/24 文件大小:368 KB

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真空计说明书.doc

文档介绍

文档介绍:真空计应在干燥无腐蚀气氛的空间使用.
用户可选用与该仪器配套的各种功能板,例如遥测、打印、模拟量输出、RS-232C串行输出、
压强设置、压强控制・
二、安装
1 •裸规安装(见图1)
DL-7: Pl,5为电子加速极
,4为灯丝
P6为离子收集极
叽・5: Pl,5为电子加速极
P2,4为灯丝
P6为离子收集极
P3为空脚
DL-9: WDL-5
图1金属裸规电极管脚分布示意图
前面板的电源开关应放在关闭位置,
电源线电缆一端插入后面板的POWER(电源),另一瑞插入市电(交流220伏),
规管电缆一端播接在后面板的GAUGE(规管)插座上,另一端接到规管上.
其中红线(红夹子)接在电子加速极(1或5脚)上,
其它两个根线(黑夹子)接在灯丝(2、4脚)上,对DL-7接在(2、3脚)或(3、4)脚上, 屏蔽线一端插在后面板的COLLECTOR(收集极)插座上,另一瑞接在离子收集极(6脚)上。 用导线将后面板的GND与裸规外壳连在一起,并接地.
规管电缆线应固定在支架上,以免接线间短路.

DL-7 (ZJ-12)玻壳规管电极引线示意图见图2.
将电缆线红线接在电子加速极1或5脚上.
其它两根接在灯丝2, 3或3, 4脚上,
屏蔽线接在离子收集极6脚上.
电缆线和屏蔽线的另一端分别插在后面板的GAUGE(规管)和COMECTOR(收集极)插座上•
DL・5、DL-9玻克规管电极引线示意图见图3图4。
.
另一端插接在仪器后面板GUAGE(规管)及COLLECTOR(收集极)的位置上,
用导线将机箱接地•
图2 DL-7(ZJ-12)玻规示世图
图3 DL-5玻规示慰图
图4 DL-9玻规示意图
三、技术更求
DL-5
DL — 7
DI-9
加速极对地电位
165V
235V
225V
阴吸对地电位
35V
35V
25V
发対电流
0. IbiA: 10—10-,Pa
1»A: IO2—10Mpa
: 0—10%
5nA: 10—10*pa
0. 66n)A: 1—10'Pa
6. 6«A: 10—lO^pa
裸规法兰直径
70mr
70am
7Oral
电挥功率
22W
22W
22W
5. 7Kg

5. 7Kg
机箱尺寸
(KxKx 深)
480X132X200bd (包括曲定耳边)
440X132X200nui (〉
摆作说明
1 •面板
仪看的前后面板如图5图6所示(DL-5. DLT无除气开关)•
DL・7程控真空计
Po
O
0
JkJft大•电于
□ □
■ 7 6・
O
图5前面板示盘图
9。口。◊ <==>。Q 二
5 — rvM XV <7甌1 0<U4l
图6后面板示意图
援作步■
(1) » ■方氏
接好管电统、牧農根电缆和电澎电井榕机箱和襟規法兰盘接地. 打开电淺开关・真空计自动转向被测压冬相应的■?显示圧强值. 工作关卑电碟即可.
(2) 除7方式(仅对DL-7)
当压吾低于1(T对可进行除气.

注 t*9>
1・規管安装连接要正确I
机箱应接览?
六应衽电离计Wifitt用高频火屁检欄仗•
结构和原理
谀包髙计自控制单元■.
DL-5fcM»
处 Kai
»*)*.*,
田7方块88
从控制单元来的离子汰佰号送到微处AD变换•徹处理話根摇对其馥值大小的分析.
・七段⑻

.
CL-・
DL-0型真空计说明书

DL-0型是热电偶真空计,配合ZJ54D或ZJ53B 型热电偶规管。控制单元由单片机控制,数字显示压 强值。
二、技术要求
测量范围
电源
1—lOOPa
交流 220V,50-60Hz

4•机箱尺寸
三、操作说明
5W
200 X 9

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