文档介绍：表面粗糙度的测量
第一节表面粗糙度的评定参数
主要内容：
1、主要术语及定义
取样长度L
评定长度L
轮廓中线m
2、6个评定参数
3个基本、3陷包含进去，因此在测量时．原则上应将其影响排除在外，尤其是对于比—股加工痕迹(微观不平度)的深度或宽度大得多的缺陷要特别注意。如果零件表面不允许有某种缺陷或对它要加以控制，应另作规定。
3)测量部位
为了完整地反映零件表面的实际状况，需要在其若干具有代表性的位置上进行测量，一般可采取在均匀分布的三个以上的位置上取其平均值作为最终结果。如果几个位置上的粗糙度数值相差甚大，例如大于一个系列值(公比为2)．则应再多测几个部位，判断其均匀性情况，此时最好将各部位的测量结果分别注出，或给出平均值结果并附加说明
第二节表面粗糙度的测量方法
主要内容：
1、光切法量表面粗糙度
2、干涉显微镜测量表面粗糙度
3、触针法测量表面粗糙度
电感轮廓仪
激光干涉式轮廓仪
压电式轮廓仪
重点：光切显微镜的原理和定度
任务：表面粗糙度的测量
测量对象和被测量
问题1：工件特点？
（大小、轻重、材料）
问题2：测哪里的粗糙度？
（内、外表面；平面、柱面、球面、齿面、牙型面）
问题3：测量有什么特点？
问题4：与长度、角度测量有何不同？
测量单位和标准量
长度单位-um
表面粗糙度样板
光波波长
电压、电流标准
测量方法
测量方案设计
测量方法
测量仪器
接触形式、定位
测量精度
方法精度
仪器精度
影响因素
改善精度的措施
—、表面粗糙度的测量方法概述
　　表面粗糙度反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，对表面粗糙度的测量方法很多，主要方法见下表。
对表面粗糙度的评价主要分为定性和定量两种评定方法。
定性评定是将待测表面和已知表面粗糙度级别的标准样板相比较，通过目估或借助于显微镜以判别其级别。
定量评定则是通过一定的测量方法和相应的仪器，测出待测表面的不平度数值。
　　　实际工作中，对加工表面粗糙度的评定可归纳为如下四种方式。
１．与表面粗糙度标准样板比较的方法
表面粗糙度样板：按各种加工方法做成的不同几何形状的
　　　　　　　一套标准表面样块，用来与被测的表面
相比较。
表面粗糙度样板
测量方法：
目测法：-80m的表面；
用5～10倍放大镜比较：-m的表面；
用比较显微镜：-10m的表面。
触觉比较法：-10m。
注意点：样板与被测件的加工方法、材料、形状都相同。
适用范围：工厂比较常用，尤其是车间检验中常用。一般只用于粗糙度评定参数值较大的情况下，其判断的准确性很大程度上取决于检验人员的经验，当有争议时可用仪器进行测量。
２．在选定截面上直接测量表面微观不平度数值的方法
　
普遍采用、定量测量、严格按照定义测、本节重点。
常用的有光切法、干涉法、触针法等各种测量原理的光学或电学仪器。
3．印模法测量表面粗糙度
对于大型零件或零件内表面等不易直接测量的情况下可用此法。
印模表面的峰谷值总要比被测表面的峰谷值要小些，因而对此结果需加以修正。其修正系数值与所用材料等有关，应由实验来确定。
4．间接测量方法
　这类方法是利用被测表面的某种特性来间接评定表
面粗糙度的数值。例如：
气动法：是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。
电容法：是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数Ra或Rz，而需进行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的测量头。
其他方法：激光散射法、激光散班法、激光全息法等。
二、光切法测量表面粗糙度
所谓光切法就是用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束在被测表面上发生反射，将表面微观不平度用显微镜放大成象进行观测的方法。图4-5是光切法的测量原理图。
若倾斜角取45°，则得：
h’=h/cos45°
若观测显微物镜的倍数V，则：
N＝Ｖh’
用显微镜测出象的大小N，即可求出h值：
　　　　　　h=N/(Vcos45°) 　　
测量表面粗糙度峰谷距离的原理与上述相同。
图4-5　光切原理
1．光切法原理：
图4-6 光切显微镜光路