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烧结炉DESPATCH中文手册.ppt

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烧结炉DESPATCH中文手册.ppt

上传人:mkjafow 2017/12/19 文件大小:7.67 MB

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烧结炉DESPATCH中文手册.ppt

文档介绍

文档介绍:Despatch烧结炉


烧结炉所在的位置
3. Despatch 烧结炉开关机操作规程(手动操作模式)
:
打开炉子的facilities电源
确保facilities的排放系统已运行
打开压缩空气供应,
打开冷却水供应,
启动电脑
选择运行程序并上载
依次启动utilities 、conveyor、heater按钮
如果有必要,通过流量表调节气体流量
如果有必要,调节冷却水流量
等到系统显示 ready ,开始装载硅片

关闭加热器heater ,冷却炉带到200℃
停止炉带conveyor
当炉带速度小于10ipm(1英寸=),关闭utilities
关闭电脑
关闭炉体气体供应
关闭炉体水供应
关闭主电源
(自动操作模式)
自动运行:
当注册人员在操作时,系统在导入程序后提供一个自动按钮。
点击RUN按钮会启动自动循环系统,这样进入运行, 然后在运输系统达到设定的工作点并稳定工作时,加热器开始工作。当加热状态准备好时,说明加热器到达理想的工作点。
停止自动运行:
同样的一个RUN按钮可以停止自动过程。点STOP按钮会启动终止程序,这样加热器开始冷却。
当加热器失效,加热区温度开始下降而其他功能键换是灰色。一旦温度达到200℃,加热器显示失效并且运输停止,并立刻导致功能键就失效。

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Infrared Drying/Firing Screen桌面各菜单的含义
1 .System Status :Displays current state of heaters, conveyor and utilities or other system functions.(显示目前的加热,传送和功效的状态)
2. ENABLE/DISABLE:Switches
Turn separate systems ON (ENABLE) or OFF
(加热和传送还有功效可以单独控制)
3 EXIT :Press to exit CDF System Operation. Figure 15 shows
Exit dialog screen.(退出当前的操作系统)
4 User Information :Displays date and time, User ID and security level of use.(显示时间日期和用户的级别)
5 Light Tower:Status(灯的显示状态)
Green, yellow, or red light turns ON or OFF
corresponding to light tower status:
• Red—Alarm condition
• Yellow—System requires operator assistance
• Green—System ready or running