扩散工序知识介绍 PPT课件.pptx

文档介绍：扩散工序基础知识培训
目的及意义
培训的目的
了解扩散原理
介绍扩散车间操作流程
熟悉人员、生产、设备安全的要求和危险预防措施
培训的意义
简单介绍扩散车间的生产流程,强调生产安全问题
内容提纲
扩散原理
扩散车间的基本生产流程
人员、生产、设备的安全培训
单晶硅太阳能电池
多晶硅太阳能电池
太阳能电池工艺基本流程
PN结的形成
太阳能电池的心脏是一个PN结。制作太阳能电池的硅片是P型的,也就是说在制造硅片时,已经掺进了一定量的硼(B)元素,使之成为P型的硅片。
硅晶体的特点是原子之间靠共价键连接在一起,硅原子的4个价电子和它相邻的4个原子组成4对共有电子对。这种共有电子对就称为“共价键”。硅片掺进硼后,由于硼原子的最外层有3个价电子,必有一个价键上因缺少一个电子而形成一个空位,我们称这个空位叫“空穴”。这种依靠空穴导电的半导体称为空穴型半导体,简称P型半导体。
扩散方式
扩散原理
扩散方法
1. 三***氧磷(POCl3)液态源扩散


目前业内批量生产采用第一种方式。三***氧磷纯度等级:6N。
三***氧磷( POCl3 )
POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源
无色透明液体,具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。
,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。
POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发。