文档介绍：讲师:王燕平
ESD防静电知识讲解
ESD防静电知识讲解
什么是静电放电(ESD)
静电如何形成
半导体产品抗静电能力
ESD 的影响质量方式
组件被ESD 破坏之原因及型态
ESD破坏分析
静电防护
各类常用静电防护材料
各种静电标示警告
制程对ESD之要求
◇什么是静电放电(ESD)
◆严寒的冬天,当您脱下暖和的毛衣,您会听到哔哔啪啪声
◆干燥的冷天,当伸手去开车门或窗户,会感到触电的感觉
◆用手去抚摸家里的猫,您会发现猫竟然怒发冲冠
这些就是静电瞬间泄放(ESD)所主导产生的现象
ESD-Electro Static Discharge
◆其实静电并不仅由人为才会产生,例如
–空中对流的云层
–沙漠中随风飘起的砂
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什么是静电放电(ESD)
静电如何形成
半导体产品抗静电能力
ESD 的影响质量方式
组件被ESD 破坏之原因及型态
ESD破坏分析
静电防护
各类常用静电防护材料
各种静电标示警告
制程对ESD之要求
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◇静电如何形成
◆静电是史载最早发现的一种〝电〞
–静电其实是自从有人类以来,就影响着人类的生活
–公元前 640年, 希腊哲学家 THACES(撒奇) 把琥珀(Amber)
摩擦后发现可以吸附毛发,而开始知道静电的存在
◆静电的形成
•导体–具有可移动的电子或价电子(Valence Electrons) 在原子
结构的最外层,其受原子核(Nuclei) 的束缚最小,当受到外来电场的吸引而移动(产生电流) ,此类物质称为导体
•绝缘体–缺乏上述之可移动的电子或价电子的物质,称为绝缘体
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◎物质产生静电大小排列如下表,其中愈正性与愈负性物质互相摩
擦产生之静电愈大
Air 空气 Amber 琥珀
Asbestos 石棉 Acetate Rayon 人造丝
Aluminum 铝 Brass , Silver 黄铜, 银
Cotton 棉 Gold , Platinum 金, 白金
Fur 皮革 Hard Rubber 橡胶
Glass 玻璃 Orlon 奥龙
Hands 手 Polyester 多元脂
Human Hair 头发 Poly urethane PU聚亚氨脂
Lead Hand 石墨 Polyvinyl PVC聚氯乙烯
Mica 云母石 Polyethylene PE聚乙烯
Nylon 尼龙 Polypropylene PE聚丙烯
Paper 纸 Sealing Wax 蜡
Rabbit Fur 兔毛 Silicon 硅
Silk 丝 Sulfur 硫磺
Steel 钢丝 Teflon 铁弗龙
Wool 羊毛 Nickel , Copper 镍, 铜
Wood 木材
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Negative
负性( - )
Positive
正性( + )
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◆静电就在您的周围–人在走路或跑步就可以产生可观的静
电,下面是一个量测人体静电的实验
静电压量表不锈钢板人(不带静电环)
(Static Locator) ( 12〞x 12〞)
绝缘架
℃,相对湿度 RH 为55 %
一般地面
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鞋子(皮鞋或球鞋)
导线
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◎ A)上述条件测量结果
所穿鞋子动作产生静电压(Volts)
皮鞋原地慢速踏步 150~200
皮鞋原地快速跑步 200~250
球鞋原地慢速踏步 200~250
球鞋原地快速跑步 250~350
◎ B)当不同条件下,静电压之变化
产生方法 10%~20%相对湿度 65%~95%相对湿度
走过地毯 35,000 1,500
走过塑料地毯 12,000 250
在椅子上工作 6,000 100
拿起塑料活页夹 7,000 600
工作椅垫摩擦 18,000 1,500
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◆工作场所中常见的静电产生物质或活动:
•工作桌面–一般的塑料、上腊、上漆。
•地板–水泥地板、一般塑料地板。
•衣服–人造纤维衣服、一般非导电鞋、抹布。
•椅子–木材椅、塑料椅、玻璃纤维椅。
•包装及运送–塑料袋、泡棉、保丽龙、塑料盒。
•组装、加工、测试、修理–喷雾清洁剂、吸锡器、铬铁、刷子
、塑料带、热气、烤箱、复写纸。
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