文档介绍：绪论
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电子薄膜技术
主讲教师:徐进
办公室:F410
电话: 83432236
邮箱:******@neusoft.
绪论
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第一堂课主要内容
课程情况介绍
课程考核方式
薄膜材料的定义
薄膜技术的发展
课程教学内容
绪论
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课程性质: 微电子制造方向专业课
课程特点: 内容丰富、概念性记忆性强;理论与实践
相结合
通过对本课程的学习,能够掌握电子薄膜的主要制
备技术及相关知识,为从事微电子、固体电子薄膜
及相关领域的研究、设计和生产打下基础。
课程简介
绪论
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总学时:48学时
周学时:4学时
课时安排:1-12周;周一5-6节、周四 1-2节
学分:3学分
课外学时:12学时(6次课下作业)
课程概况
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教材:
《薄膜材料制备原理、技术及应用》
唐伟忠著,冶金工业出版社,2003
参考书:
《薄膜技术与薄膜材料》田民波,清华大学出版社
《薄膜材料与薄膜技术》郑伟涛,化学工业出版社
《半导体薄膜技术与物理》叶志镇等,浙江大学出版社
《Material Science of Thin Films-Deposition & Structure》 M. Ohring,世图影印版
教材及参考书
绪论
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第一堂课主要内容
课程情况介绍
课程考核方式
薄膜材料的定义
薄膜技术的发展
课程教学内容
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1、上课时必须将手机关机或静音;
2、上课不允许讲话,不允许做与本课程无关的事;
3、有事提前向老师请假(开假条),课上随机点名;
4、上课请杜绝睡觉;
5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理;
6、上课不需要带电脑!
7、请每人准备一个作业本!(笔记)
课堂要求
希望:
积极思考、踊跃发言
意见要求及时反馈
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类别
考核项目
考核主要内容
所占权重
形成性考核
平时成绩
日常表现:迟到、旷课、纪律、态度、协作、交流
迟到、早退一次扣2分,旷课一次扣4分。积极思考,踊跃回答问题,给予加分