文档介绍：单晶硅外延基座研发及产业化项目1目录第一章项目意义和必要性...................................................................-1-..................................................-1-.......................................................................-4-...................................................................................-6-...............................................................................-9-第二章项目技术基础.........................................................................-11-.....................................................-11-.....................................................................-12-.........................................................-16-第三章项目建设方案.........................................................................-20-.........................................................................-20-.................................................................................-20-.................................................................................-21-、技术目标及水平........................................-21-第四章环保、节能及原材料供应情况............................................-22-.................................................................................-22-.................................................................................-23-.............................................................................-23-第五章项目法人基本情况.................................................................-25-.................................................................................-25-.................................................................................-26-.................................................................-27-.....................................................-28-单晶硅外延基座研发及产业化项目2第六章项目投资及资金筹措.......................................................