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基于横向剪切干涉图像的波像差求取技术.docx

上传人:wz_198613 2025/3/21 文件大小:10 KB

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摘要
横向剪切干涉技术是一种非接触式测量技术,可以用于长距离、直线测量,尤其适用于小振幅、波数很高、自然折射率变化很小的物体。本文介绍了一种在横向剪切干涉图像中应用波像差求取技术的方法。该方法可以有效地提取出干涉图像中的波像差,进而得到目标物体表面的形变信息。我们用实验证明了这种方法的有效性以及其在实际测量中的应用。
引言
光学干涉技术可以用于测量物体的表面形变,同时也可以用于测量物体的内部结构等。横向剪切干涉技术是一种非接触式测量技术,可以用于长距离、直线测量,尤其适用于小振幅、波数很高、自然折射率变化很小的物体。因此,横向剪切干涉技术在制造、航天、医学等领域得到了广泛应用。
然而,在横向剪切干涉技术中,波像差的求取一直是一个难题。波像差作为光学干涉成像中的核心参数,是干涉图像的形成原因,同时也包含了物体表面的形变信息。因此,波像差的准确求取对于物体表面形变的精确测量至关重要。
本文介绍了一种在横向剪切干涉图像中应用波像差求取技术的方法。该方法可以有效地提取出干涉图像中的波像差,进而得到目标物体表面的形变信息。
方法
我们的方法基于横向剪切干涉技术,利用两束光分别从不同方向照射目标物体,并将两个平面波集中在目标物体的表面上形成一系列干涉条纹。我们用一台CCD相机捕获干涉图像,并对其进行数字处理。
我们将干涉图像转换为频域,然后将频域上的波数分成等间距的片段。对于每个波数片段,我们利用哈特曼解方程求取片段内的波像差。
在干涉图像的处理过程中,由于环境光的影响,会导致干涉图像的背景非常明亮。为了排除环境光的影响,我们还需要对干涉图像进行背景提取和滤波处理。
实验与结果
我们在实验室建立了一个横向剪切干涉测量系统,并对不同表面形变的物体进行了测量。我们通过比较我们的方法和其它几种方法的测量结果,验证了我们提出的方法的准确性和有效性。同时,我们还探究了不同形变程度的物体在干涉图像中波像差的规律,并呈现了一些典型的测量结果。
结论与展望
本文针对横向剪切干涉图像中的波像差求取问题,提出了一种基于哈特曼解方程的波像差求取方法。该方法可以有效地提取出干涉图像中的波像差,进而得到目标物体表面的形变信息。我们的实验结果表明,该方法具有很高的准确性和精度,可以用于物体表面形变的精确测量。
未来,我们还可以将该方法与其它技术相结合,如相位测量技术、数字形貌标定技术等,来进一步优化测量结果的精度和稳定性,以满足实际工程中的需求。

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