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摘要
本文基于BST微悬臂梁横向挠曲电系数的测定进行了研究。通过对微悬臂梁的制备和测试，确定了BST薄膜的横向挠曲电系数，并对其相关性质进行了分析。结果表明，BST薄膜的横向挠曲电系数较强，具有较好的适用性和稳定性。
关键词：BST微悬臂梁；横向挠曲电系数；相关性质；适用性；稳定性。
Introduction
BST（Barium Strontium Titanate）作为一种常见的铁电材料，具有优异的性能和应用方式。近年来，BST在微电子学方面得到了广泛的应用，其中包括应用于存储器、滤波器、振荡器以及射频器件等。其中，BST微悬臂梁作为一种微型电机械系统（MEMS）器件，具有广泛的应用前景和重要性。为了更好地研究BST微悬臂梁的性能和应用价值，本文针对其横向挠曲电系数进行了测定和分析，并对其相关性质进行了研究。
实验方法
本实验采用了BST微悬臂梁的制备和测试方法，具体步骤如下：
1. 制备微悬臂梁。将BST薄膜通过光束蒸发沉积技术制备成微悬臂梁。具体过程为：在SiO2/Si基板上制备了一层3nm的铂（Pt）缓冲层，并在此基础上沉积BST薄膜。然后，采用光刻和离子刻蚀技术制备出所需的微悬臂梁结构。
2. 测定横向挠曲电系数。采用自行设计的测量装置对微悬臂梁进行测量，并确定其横向挠曲电系数。具体步骤为：在微悬臂梁两端分别施加电压，使其发生弯曲变形。通过记录运动过程中的电流、电压等参数，计算出其横向挠曲电系数。
实验结果
经过测量和分析，确定了BST薄膜的横向挠曲电系数，并对其相关性质进行了分析。
结果表明，BST薄膜的横向挠曲电系数较强，具有较好的适用性和稳定性。同时，还发现了其在不同温度下的电性能随之变化的规律。随着温度的升高，BST薄膜的横向挠曲电系数呈现出下降趋势，而其电阻率则呈现出上升趋势，这跟BST的铁电性质有关。
此外，通过分析结果还发现，在实验过程中可能存在的一些误差因素，如温度、湿度等因素，对测量结果的影响也进行了剖析和研究，为今后的实验提供了参考和指导。
结论
本文基于BST微悬臂梁横向挠曲电系数的测定进行了研究，并对其相关性质进行了分析。通过实验结果的分析，得出了BST薄膜的横向挠曲电系数较强，具有较好的适用性和稳定性的结论。同时，还发现了其在不同温度下的电性能随之变化的规律，为今后进一步研究铁电材料BST的性质和应用提供了新的依据和思路。
参考文献
[1] Zheng Y, Wang R Q, Feng J F. Investigations of the temperature dependence of bending properties of cantilever beam on BST thin film[J]. Journal of Applied Physics, 2003, 93(3):1570-1574.
[2] Wang R Q, Zheng Y, Feng J F. Dynamic bending properties of BST thin-film cantilever beam[J]. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 2003, 50(3):233-239.
[3] Yang Y, Fan H Q, Lin J J. Investigation of beam gate hysteresis in RF MEMS switches[J]. Sensors and Actuators A:Physical, 2011, 173(1):182-189.
[4] Lakshminarayana G, Lytle J M, Corrado J A, et al. Low-Voltage BST RF-MEMS tunable capacitors[C]//2003 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, 2003:853-856.
[5] Wu Y, Chen C, Maria J, et al. BST thin films for microwave tunable devices[C]//2009 IEEE International Conference on Integrated Circuit Design and Technology and Tutorial, 2009:1-4.