文档介绍：第十一章 晶体薄膜衍衬成象分析
概述
薄膜样品的制备
衍衬成象原理
相位衬度简介
11/10/2017
1
概述
由与样品内结晶学性质有关的电子衍射特征所决定的衬度,称为衍射衬度
适用于薄晶样品的图象分析,主要用于晶体缺陷的分析
11/10/2017
2
HNU-ZLP
薄膜样品的制备
11/10/2017
3
HNU-ZLP
透射电镜对样品的要求
试样最大尺寸,直径不超过3mm;
样品厚度足够薄,使电子束可以通过,一般厚度为100-200nm;
样品不含水、易挥发性物质及酸碱等腐蚀性物质;
样品具有足够的强度和稳定性;
清洁无污染
11/10/2017
4
HNU-ZLP
制样技术—薄膜
生物样品、高分子材料—超薄切片
金属样品—电解双喷减薄
陶瓷样品—离子减薄
11/10/2017
5
HNU-ZLP
衍衬成象原理
成象原理
三个参数
11/10/2017
6
HNU-ZLP
一、成象原理
11/10/2017
7
HNU-ZLP
成象原理—明场(BF)象
IA=I0
IB=I0-Ihkl
A晶粒的象比较亮,B晶粒的象比较暗
11/10/2017
8
HNU-ZLP
成象原理—暗场(DF)象
IA=0
IB=Ihkl
A晶粒的象比较暗,B晶粒的象比较亮
11/10/2017
9
HNU-ZLP
二、三个参数
描述试样对电子束强度变化的影响包括三个参数:
衍射晶面偏离矢量S
试样厚度t
消光距离g
11/10/2017
10
HNU-ZLP