文档介绍：采购项目内容
总体要求
本项目最高限价为300万元,投标人投标总价不得超出其最高限价,否则视为无效投标。
投标总报价包括完成本项目的成本、利润、运费、税金等全部费用。投标人提供的物品必须是全新,表面无划伤、无碰撞,产品质量符合中华人民共和国国家行业标准。
本项目要求中如有出现工艺、材料、设备或参照的品牌仅为方便描述而没有限制性,供应商可以在其提供的文件资料中选用替代标准,但这些替代标准必须相当于或优于本用户需求书的标准。
本需求中“★”号条款为实质性响应条款,投标人如有任何一条负偏离则导致投标无效。
投标人在响应投标方案中对这部分内容应尽量列出具体参数或作出详细应答。如果投标人只简单注明“符合”或“满足”,将影响其技术商务得分。
投标人所提供的设备必须是未使用过的全新产品,卖方需随设备装箱提供制造厂的设备检验、测试报告、设备检验合格证书、质量保证书和保修书等证明文件。
投标人须在投标文件中填写《技术响应表》,当投标文件中技术参数与招标文件中技术参数有偏离时,须在“偏离”栏内如实注明是“正偏离”或“负偏离”,“正偏离”指投标设备的技术参数优于招标文件中要求,“负偏离”指投标设备的技术参数低于招标文件中要求。
投标人必须确保设备及所有配套件的完整性和可靠性。对于招标文件没有列出,而对该设备的正常运行和维护必不可少的部件、配件等,投标人有责任给予补充。
技术要求及实施要求
序号
设备名称
技术要求及实施要求
数量
单位
1
金属切削***专用多功能全自动
金属切削***专用多功能全自动PVD镀膜机,采用单向非平衡磁控溅射、电磁驱动阴极电弧、矩形阳极层气体离子源、闭合磁场、高功率脉冲磁控溅射、双极脉冲磁控溅射多种技术复合的方式,实现在各种基体上沉积各种材质的复合/功能梯度/多层和纳米薄膜的功能。主要应用于各种***表面镀膜的工艺技术研发和小批量生产。
1
套
序号
设备名称
技术要求及实施要求
数量
单位
PVD镀膜机
序号
设备名称
技术要求及实施要求
数量
单位
技术规格与要求
真空腔室
真空室尺寸:Φ600×600 mm2以上;
★真空室内的有效均匀镀膜空间:Φ500×300 mm2以上;真空室和转架系统应采用304无磁性不锈钢材料;真空室带增强水冷壳;双层真空室热屏蔽板。外层屏蔽板()另备1套备件,包括:转架板、底板、源脖套(4套)、前门板、抽气口百叶窗板;
真空室壳体要求内外抛光,外表面抛光后做喷丸处理;
所有暴露真空的材料,不用碳钢材料;
★真空室内部要求能够长期工作在不低于500℃高温环境中(此处500℃指样品表面温度);
真空室上应带有2 个大视角观察窗,可随时观察真空室内工作状态;
真空室应留出几个备用法兰口,规格为CF35 ,``CF 法兰;
所有密封圈采用国内优质的耐高温的***橡胶密封圈;
★极限真空度高于3 x 10-4Pa; Pa/小时;抽气时间(室温空炉,从大气状态到5×10-3Pa)小于25分钟;抽气时间(空炉,从大气室温状态到450-500
序号
设备名称
技术要求及实施要求
数量
单位
℃,5×10-3Pa)小于100分钟;
真空获得系统
★采用国际知名品牌涡轮分子泵(抽速不小于2200L/S,磁悬浮轴承转子、五年质量保证);前级泵采用国际知名品牌机械真空泵(带入口过滤器),抽速不小于18L/s;国际知名品牌高真空插板阀;
★需要配置步进电机驱动节流阀系统,通过节流阀系统控制泵系统的抽速,节流阀要求从全关到全开的任意角度可调,且在自动工艺中可根据设定参数自动调整;
所有真空管道和真空阀门都应采用304 无磁性不锈钢制造,外表面要求喷丸处理;
气压传动系统。
真空检测和进气控制系统
采用知名品牌的复合式真空计,一个国际知名品牌冷阴极电离真空规,、两个热电偶真空规;
★四路数字控制气体质量流量控制系统(知名品牌,规格:m,m,m,m,准确度:±%.(≥35%.),±%(<35%.))1套,可以满足四种反应气体和工作气体单独和组合控制;采取措施避免气体突然充入真空室,使得真空室成正气压。6路高精度恒压控制分配板1套,可以保证对4路气体同时控制;
★国际知名品牌薄膜真空规1个(该薄膜规将用于镀膜过程的真空数据读取和控制),全刻度范围:,最小读值:;
序号
设备名称
技术要求及实施要求
数量
单位
★国际知名品牌闭循环气体控制系统: 靶电压控制探头一套;PEM光学探头安装配件一套,配780nm和670nm滤光片各一套。等离子体光谱控制仪一套;活性气体流量通过等离子体谱控制仪保持适当