文档介绍：基于MATLAB的光学光栅衍射仿真
在“光栅衍射计算器”(钆计算器®)是一个基于MATLAB,电磁仿真程序,计算光栅结构,包括biperiodic光栅衍射效率。该方案的功能包括一般的设施和灵活的光栅造型,结构参数(与任意数量的参数),超过衍射顺序不受选择限制的控制。此外,它在泛型编程及应用Matlab开发框架的实施提供了软件的灵活性和互操作性不与独立衍射分析程序可用度
本条第1部分提供了钆Calc的概念性概述,概括描述如何指定光栅结构,以及如何进行了电磁计算。这次报告会主要以概念为导向,但有几个简单的代码例子提供给读者一个如何用GD- Calc软件接口来工作的感觉。第2部分提供了一个更深入地介绍了软件界面,使用钨作为一个例子来说明光子晶体结构光栅结构是如何规定的.
本文的主要焦点是光栅结构规范。电磁计算中的应用实例,载于所附文件,。(在这篇文章,并在GD- 。。)。
第1部分:概念概述
MATLAB的开发环境
一个在MATLAB环境下工作的优点是了解GD- Calc图的功能联系,而无需依靠繁琐的数据转换和导入/导出过程中创建的。例如,在半导体光刻技术的应用,光刻胶光栅的厚度和折射率的影响都可能暴露有关抵制致密,因此很自然地就会指定的厚度和折射率既是暴露用户定义函数。这是特别有用的结构参数化,例如,曝光可以被定义为一个矢量的数量,在这种情况下,所有曝光依赖数量,包括影响厚度,折射率,并计算出衍射效率,也同样向量化。
通常情况下,光栅的光学特性不是主要关心它本身最为一个完整的系统,应该包括作为一个组件光栅光学响应。 MATLAB的通用编程能力,可以轻松地链接到用户的功能定义的光学系统模型的Gd - Calc中,它本身可以成通用的优化程序性能的优化设计中。钆Calc是简单的MATLAB函数(),可纳入其他MATLAB函数或脚本,而且需要实例化的参数,可以对用户定义的函数..
虽然独立程序缺乏通用性和Matlab开发环境的灵活性,他们可以有简单和易于使用的优点。然而,钆Calc可以被用于与MATLAB结合创建定制的用户得到最佳改编为特定应用接口。的职能和与GD- Calc的相关设施,如它绘制脚本许多(),其输出的数据转换功能(),以及演示脚本的数量分布情况如公共领域的软件,使用户可以随意修改和调整代码以最适合自己或客户的需求
结构规范
在GD- Calc的光栅建模能力主要限制因素是光栅必须是“块结构“(或必须被定义在一个块结构的代表性方面大约),这意味着光栅包括光学均匀区域的边界曲面平面平行一主坐标平面集。例如,光栅组成一个金字塔周期阵列将代表用“楼梯逼近“,如图1所示。
光栅是成为一个“阶层“人数划分,其中每个阶层为界,上下平行于光栅平面基板。光栅具有高度独立的横向交叉在每一分层节。图2说明了一个特定的阶层从图1锥体光栅提取。每个阶层划分成平行“条纹“,这是进一步划分成矩形“块“代表光学均匀地区。

图1锥体光栅

图2光栅层
在软件方面表示,如图1