文档介绍：测量与检修年第卷第期
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文章编号
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压阻式压力传感器及其应用电路设计
才滢毕鹏
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部队分队辽宁葫芦岛
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摘要介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路并给出了一个应用示例
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加以说明
4
关键词传感器压阻应变
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中图分类号文献标识码
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目前压力传感器种类很多有振动筒式压阻式传感器
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石英波登管式压阻式应变片式等多种其中电阻式传感器是将输入的机械量应变转
q q 4 v
振动筒式压力传感器虽然不确定度可达换为电阻值变化的变换元件电阻变换器的输
38-r 4
但它仅适用于测量以气体为介质的压力测入量为应变即材料的长度相对变化
st+ + vwxyzy+
压范围很小石英波登管式压力传感器不确定量它是一个无量纲的相对值通常{u为
5 + 4 vw13
度能达到测压范围也很大可达一个微应变电阻变换器的输出量为电阻值的
383-r+ + 4
以上但这种传感器结构复杂成本高相对变化量电阻变换器有金属电阻变换
u3\7S + q 5 x|z|4
应变式压力传感器测量上限一般不超过器和半导体电阻变换器两种类型根据半导体
4
不确定度为目前市场上有上限材料的压阻效应且其中是
-2\7S+ 1rst+ !x}z}w~! !w"v !!
达的这类压力传感器但制作工艺较应力是压阻系数
u3\7S + ’#z$(5~ +~w ’.3% 03(&
差可靠性低特别是以下的传感器不{11 - 是弹性模量 11
+ + 1\7S + 13 m zY+" +"w 18u’& 13 Yz
确定度很难达到压阻式压力传感器- 所以电阻的相对变化为要
m + ’x|z|((~"v4
利用单晶硅的压阻效应制成它采用集成电路测量其他物理量如压力力加速度等就需要
+ + q q +
工艺结构简单测压上限可达到具有先将应变片贴在相应的弹性元件上这些物理
+ + u3\7S+ +
工作可靠耐腐性抗干扰能力强等特点国内量被转换为弹性元件的应变再经应变片将应
q q + +
有些厂家利用美国生产的传感器芯片加上严变转换为电阻输出量应变传感器的组成框图
+ +
格的组装工艺其不确定度可