文档介绍：FEI AI 20透射电镜
目录
电镜操作面板 - 2 -
使用步骤: - 4 -
- 4 -
- 4 -
- 5 -
- 6 -
五、拍衍射 - 6 -
六、能谱分析 - 7 -
七、高分辨 - 7 -
八、拔样品杆及关机 - 8 -
电镜操作面板
左面板
一般不用
调节光斑大小
光束倾转
只是打衍射采带轴时用
(不用)L1
(做高分辨时,使Focus归零)L2
(降 Spot Size)L3
Course
Fine
多功能钮X
Exposure
Course
Fine
光速球
—+
右
左
左面板
上
下
Stigmator
Intersity
右面板
调焦
升降倍数
拍暗场像
Z(高度,调焦)
R1(抬屏)
R2(不用)
R3(升Spot size)
Focus
+
—
样品杆
Eucentric focus
Wobbler
Magnification
Diffraction
Dark field
多功能钮Y
中间
镜筒
C1(不动)
物镜光阑
(拍形貌)
选区光阑,(拍衍射)
1—7档,外调位置,内调大小
C2
注意事项
使用电镜时,首先要观察电镜的状态。
有黄色背景的按钮,要谨慎。
观察一系列数值,包括:最佳电流值、Spot size、样品各坐标是否都归零等。
使用步骤:
,夹子不能碰到银环,放置后,用手振动玻璃管,使样品至中间状态,然后用螺丝帽压紧(不可过紧,固定住即可)
,要使杆上小柱的位置对准左上角螺丝,插至凹槽完全进入,然后连上数据线。确认在双束(双倾台不是双束)下,点两下回车。打开抽真空示意图→Vacuum Overview,开始抽真空。
,逆时针旋转小柱对准Close,插入。抽真空共分成两段时间,第二个倒计时结束后,即红灯一灭,必须在20秒内将样品杆逆时旋入。旋入样品杆时,要一手拿着,一手托着,放置进入过快。然后点Tube on。然后点Col Values Closed。
Gun 1
Colum ≤6
Camer ≤20
检查
,取下蒙皮。
→Search,即可看到样品所在位置。开始找样品中心空洞。
size为1,低倍(6200X或8700X)下找到薄区(朝着光亮处找)。然后调焦。(按Eucentric focus)。
,然后将光斑移至孔区域,开始合轴。观察光斑是否为圆形,非圆形时要进行调圆
→condenser,调圆后点→None
。在Tune菜单下进行操作。
(1)Spot size 2→Gun shift→光斑移至中间→Done
(Spot size大小用R3和L3进行加减。)
(2)Spot size6→Beam shift→光斑移至中间→Done
重复以上步骤,直至光斑在中间位置。
(3)然后将Spot size 降至1→光斑缩小并移至中心(确认光斑在顺时针放大逆时针缩小状态)→点击
Beam shift PPX→调动多