制绒高减薄实验报告.pptx

文档介绍：制绒高减薄实验报告实验时间:
电池技术部
实验目的:
制绒高减薄量对电性能影响。
实验内容:
工艺流程如下:
34线制绒
34线扩散
34线刻蚀
34线PECVD
3线丝网
各道工艺监控点:
减薄量
1
2
3
4
5
平均
制绒






刻蚀






制绒后反射率
均值






扩散方阻:
LZ
LCZ
CZ
GCZ
GZ
LZ
LCZ
CZ
GCZ
GZ








































































膜厚折射率:
检验项
检测位置
均值
片1
片2
片3
片4
片5
片6
膜厚







折射率







PE反射率
1
2
3
4
5
point1





point2





poi