文档介绍：西工大-MEMS创业计划书- 创业计划书- 书业网
Mems 压力传感器创业计划书项目名称公司名称公司地址所处行业融资金额联系方式公司网站融资说明 Mems 压力传感器西安 mems 压力传感器技术有限公司陕西省西安市电子行业无联系人传真融资方式 xx成立时间注册资本所处阶段合伙电话邮箱计划 2014 年年初 10 万计划阶段退出方式 ********** CGQ@签订合同创业初期,公司规模较小,所需资金较少,所以不进行融资,只需要以合伙方式开业。合伙人共有三名,以合同的方式进行合伙及退出合伙。姓名:xx 投入资金: 万元所占比重:50%姓名:张× 投入资金: 万元所占比重:30% 股东投入资金:1 万元所占比重:20% 构成姓名:徐×× 徐××是持有劳动保障部门颁发的《再就业优惠证》的下岗失业人员,曾经从事过有关 mems 的工作,合同注明徐××以技术股份和 1 万元资金入股公司地处西安,信息资源集中,技术力量雄厚,与国内外有着广泛的联系, 通过了解、吸收、传播世界先进的传感器测量产品、检测技术和自动化技术,虔企业诚为国内客户服务。我们本着互惠互利、携手并进的原则,以成为企业
“优秀合简介作伙伴”为已任,深受业界好评。我们致力于称重 mems 压力传感器系列产品和工业控制系统的研发、生产、推广和服务等工作,是目前国内品种较为齐全的压力传感器及仪器仪产品配套供应商。企业宗旨:优质的产品,保证客户的市场;理想的价格,拓展客户的空间一、项目可行性 1) 项目主要内容及技术路线介绍 MEMS 即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、Page 1 of 12
生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。 MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看,微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类,分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看,有圆形、方形、矩形、E 形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达 %~%,年稳定性达 %/,温度误差为 %,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的 20 倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。主要产品及服务(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成,研制智能化的压力传感器。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度,实现低量程的微压传感器。(3)提高工作温度,研制高低温压力传感器。(4)开发谐振式压力传感器。 2) 项目技术创新点及描述 MEMS 压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用 MEMS 传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形, 由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如 MEMS 压力传感器那样做得像 IC 那么微小,成本也远远高于 MEMS 压力传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS 压力传感器的尺寸更小,最大的不超过 1cm,使性价比相对于传统
“机械”制造技术大幅度提高。以下是 mems 压力传感器的工作原理、和市场应用 MEMS 压力传感器按原理分,有电容型、压阻型,压电式,金属应变式,光纤式等。重点介绍硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机电传感器。Page 2 of 12
主要产品及服务硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗,极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。其电原理如图 1 所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图 2。 MEMS 硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁,采用 MEMS 技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达 %~%FS。硅压阻式压力传感器结构如图 3