晶体拆清基础知识.ppt

文档介绍：1
晶体拆清基础教程
□拆炉
□清炉
□洗泵换油与清理电磁阀
□过滤罐清扫
□装热场
□装料
一、拆炉
1、炉体充气
2
副真空泵气动阀关闭
主真空泵气动阀关闭
上氩气气动阀开启
氩气快充阀阀开启
氩气流量值
一、拆炉
3
2、取单晶
一、拆炉
4
一、拆炉
5
拆清炉着装要求
净化服
隔热手套
安全鞋
胸卡
口罩
3、取热场
一、拆炉
6
一、拆炉
9
上盖板
一、拆炉
10
下保温板