文档介绍：镀膜质量指标检测
Date: 7-13
Prepared: 陈本豪
Rev.: 02
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镀膜过程
质量指标
光谱指标
散射
膜层牢固度
外观质量
损伤阈值
膜层吸收
其他指标
相位角…
性能指标
镀膜过程质量指标汇总
时间安排计划表
月份
内容
5-18
5-25
6-1
6-8
6-15
6-22
6-26
进度
5月
光谱指标检测规范更新
合并发行
性能指标检测规范更新
6月
曲线制作规范更新
陪镀片放置规范更新
更新规范
膜层吸收、散射测试流程
新定规范
损伤阈值过程控制规范
损伤阈值延误
膜层牢固度测量规范
优化流程
外观类检测规范
已发布规范
7月
相位角测量规范
新增待定
未完成
现场已执行,文件待发布
正在开展中
文件已定稿或发布
异常提报流程优化
过程异常提报流程
规范测量方法
改善前:
检测发现异常通知镀膜工程师确认,工程师更改不合格判定存在误差和风险
改善后
检测发现不合格除增加工程主管、测试工程师、镀膜QE,更改检测的不合格判定须经过共同评估
输入:膜系、波长、入射角、偏振
过程:仪器、入角度、偏振、陪镀片、判定方法
输出:过程曲线报告、发货曲线报告
光谱/性能
指标改善
更改陪镀片放置要求(),增
加测量数量,改善透过率测试均匀
性
改善前:
测试T%, 公差角度测试仅中间圈
改善后:
除中间圈外,增加最内、最外圈公差角度测量
改善测试均匀性
信息传递与监控
FQC/OQC审核:
负责按照新规范对过程曲线、发货曲线进行审核,包含测量完整性、指标是否合格、是否正常流转等
光谱/性能指标
膜层牢固度
光谱/性能指标
各车间镀膜记录汇总
生成ORT样品清单
按清单要求送样并登记
样品接收、测试、反馈
送样率统计并反馈
OQC出货监督
送样实施流程优化
ORT送样完成率
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2011年
Q1
5月
100%
6月
吸收、散射
膜层牢固度
光谱/性能指标
检测流程
测试设备
弱吸收仪
散射积分球
合格
不合格
合格或特认
镀膜人员送检
分光计接收
功率计人员测试
正常流转
FQC审核
指标判定
返修或报废
图纸有要求?
结束
不合格
散射:散射仪6/4日搭建后开始测试,镀膜检测人员已实施培训并从7/9后实施测试。
外观质量
吸收、散射
膜层牢固度
光谱/性能指标
漏膜检查:下盘过程中100%检查是否产品是否有漏膜现象
挡边检查:随机抽取3片,使用体式显微镜检查
光洁度:镀后随机抽取5%(样品不足3片的检查3片,
包含道子、点子、印迹、膜色不均、崩边等。
相位角
外观质量
吸收、散射
膜层牢固度
光谱/性能指标
合格
不合格
按圈流转
镀后按圈抽检
不合格品分圈烘烤
发货
按圈全检
结果判定
返修或报废
异常处理
流程
不合格
按圈全检
车间抽检
不合格
合格
合格
合格
不合格
合格
目前相位角镀膜工艺不成熟,暂定检验流程如下:
1、镀膜抽检标准:按产品图号,每圈抽检3片,单片θ<4°,波动Δ<1°;
2、车间抽检标准:按产品图号,每圈抽检1片,共3片,单片θ<5°.
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