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平坦化技术工程.ppt

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平坦化技术工程.ppt

上传人:文库旗舰店 2018/8/30 文件大小:6.52 MB

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平坦化技术工程.ppt

文档介绍

文档介绍:集成电路技术工程
信息工程学院
平坦化技术
平坦化技术概述
CMP技术机理
CMP技术要素
CMP技术应用
铜布线CMP
一、平坦化技术概述
1. 平坦化技术的发展与要求
一、平坦化技术概述
2. 平坦化的定性说明
一、平坦化技术概述
3. 传统平坦化技术
(1)回蚀
一、平坦化技术概述
3. 传统平坦化技术
(2)玻璃回流
一、平坦化技术概述
3. 传统平坦化技术
(3)旋涂膜层
一、平坦化技术概述
4. 化学机械抛光(CMP)