文档介绍：《微电子学专业实验》是按照我院新办专业“微电子学专业”的培养方案及教学计划要求,设置的一门重要专业实验课程。该课程是微电子学专业本科学生必修的一门专业实验课,是理论性和实践性都非常强的一门课程。微电子学实验涉及了集成电路设计、半导体物理、半导体器件、工艺及材料等多个专业方面。
实验要求和目的:
本课程要求学生先修完:大学物理实验,半导体物理,半导体器件,微电子学概论,模拟电子技术,数字集成电路设计,微电子制造技术和计算机辅助设计等理论课程后,再进行本课程的学****br/>要求学生掌握半导体材料特性测试技术、微电子技术工艺参数测试分析技术和微电子器件参数测试与应用技术,能够熟练使用集成电路EDA工具软件。
实验学时:64
必修课
每个学生必须独立完成16个实验项目
考核方法: 课内实验完成情况 40%
实验报告 40%
课内考试 20%
实验教学内容
本实验课程涵盖三部分实验内容:
半导体材料特性与微电子技术工艺参数测试分析
半导体器件性能参数测试
集成电路性能参数测试与应用及现代集成电路EDA技术
半导体材料特性与微电子技术工艺参数测分析:
四探针法测量半导体电阻率
半导体霍尔效应实验
光电导衰退法测量单晶硅非平衡少数载流子寿命
用椭圆偏振仪测量薄膜厚度
P-N结的显示与结深的测量
MOS结构高频C-V特性测试(演示)
实验内容(1)
实验内容(2)
半导体器件性能参数测试实验:
用图示仪测量双极性晶体管的交、直流参数
场效应晶体管参数测量
晶体管特征频率的测量
晶闸管阻断特性与触发特性的测量
晶闸管通态峰值压降的测量
集成电路性能参数测试与应用及现代集成电路EDA
技术实验:
双极性运算放大器参数的测试
版图电路分析
几种数字门电路的计算机模拟与仿真
运算放大器应用电路模拟与仿真
数字电路版图设计
模拟集成电路设计与仿真
稳压电源及应用电路的计算机模拟与仿真
实验内容(3)
实验安排
1~4 周:实验2、3、9(125); 1、14、15(523)
5~8周:实验8、10、12(125); 18、22、13(523)
9~11周:实验17 (125); 16、21(523)
12 周:实验 20 (523)课内考试
说明:
1、每四周完成所安排的所有实验,实验报告交给相应的指导老师:1班:李立珺、赵萍
2班:邢立冬
3班:徐丽琴、武利翻
2、实验时间为:周三5~8节,周五5~8节。
实验报告撰写要求
实验报告必须按统一格式书写,报告内容必须包含预****报告和正式报告两部分:
预****报告必须在该次实验前完成,无预****报告不得参加当次实验,包括实验名称、实验目的、实验原理、实验内容与要求、实验步骤与方案。
正式报告包括实验结果与分析、思考题、实验总结与心得,正式报告在实验完成后写,紧接预****报告部分。
预****报告和正式报告合在一起作为该次实验的实验报告上交,实验报告封面按统一格式(见附件),实验报告内容要求手写。
实验一四探针法测电阻率
电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多,四探针法是一种广泛采用的标准方法。
实验目的:掌握四探针测试电阻率的原理和方法;针对不同几何尺寸的样品测试电阻率时,应掌握其修正方法;
实验内容:
~3个厚度不同的样品分别测量其电阻率、方块电阻值。
,各测10个不同点,用excell计算修正求出电阻率、进行数据分析;
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