文档介绍：电子级三甲基铝
请在使用本产品前认真阅读本安全产品说明书
电子级三甲基铝作为化合物半导体沉积的铝源。应用于发光二极管、激光
二极管、晶体管高性能和高效率太阳能电池中。它还用于硅半导体产业化学气
相沉积过程中。
分子式(CH3)3Al
分子量
CAS 号 75-24-1
外观清亮透明液体
沸点 127℃(760mmHg)
熔点 15℃
液体密度 (20℃)
蒸气压力 at 10°C ( K) torr
at 15°C ( K) torr
蒸汽压方程
logP(torr)=B-A/T(K)
A =2134 ,B=
三甲基铝为易燃液体,遇水剧烈反应。接触皮肤时可能导致严重的烧伤。烟
雾可能会导致皮肤和眼睛不适。由于三甲基铝及其分解物属有毒物质,应避免吸
入。
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接触大量三甲基铝和及其副产品后应立即就医。急救人员应配备相应的防护
装备(呼吸器具等),以防止三甲基铝在空气中自燃或与水反应发生的爆炸等潜
在危险。
皮肤接触
立即排出产品所在区域范围内的水,在未接触皮肤时尽可能快的装备好防护
用具。用肥皂和水清洁可能接触到的三甲基铝,包括头发和指甲下的肌肤等部位。
并立即就医咨询。
眼睛接触
戴隐形眼镜的人员,尽可能不要接触三甲基铝。三甲基铝误入眼睛时,应立
即用大量清水冲洗至少 15 分钟。并拨开眼睑以保证彻底冲洗,同时立即就医咨
询。
吸入
吸入时可能导致过敏。作业人员应快速转移到安全区域,立即使用独立呼吸
器具。如呼吸困难,应给氧。如呼吸已停止,应进行人工呼吸,并立即寻求医
疗援助。
灭火措施
灭火器械
金属有机化学材料发生火灾时,只能使用干粉、纯碱或石灰灭火,绝对不
能使用水、泡沫或卤代化合物灭火。为保险起见,三甲基铝在储运和使用过程
中应远离火源。
暴露的危险
在已控火灾中,三甲基铝在暴露的空气中或与水接触时会重新燃烧。
专用防护设备
防火服装、独立呼吸器具、面罩、安全护目镜、安全鞋和抗火手套。
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个人预防措施
发生意外时,所有人员应撤离危险区域,并使用适当的防护设备,确保足够
的通风。在尝试处理现场时应先用惰性气体保护设备。如果容器或阀门发生泄漏,
立即呼叫紧急电话。
环境的预防措施
在确保安全的前提下,尽可能的试着处理泄露的区域。防灭火措施见第 4
节。
清理方法
具体方法请联系合林。
6、包装和运输
包装
任何接触三甲基铝的设备都必须保证彻底清洁并保持密闭状态。使用前,必
须排除系统内所有的空气和水分。
运输
三甲基铝为金属有机化合物,液体,自燃,遇水剧烈反应。包装运输应符合
相关安全规则。
呼吸保护