文档介绍:电子科技大学
硕士学位论文
一种多晶硅还原炉自动调功器硬件系统设计与实现
姓名:张康乐
申请学位级别:硕士
专业:检测技术与自动化装置
指导教师:王厚军
20090501
摘要件下的电气特性,然后分析国内外多晶硅的生长控制技术优缺点,结合多晶硅的个部分。多晶硅加热过程可以分为三个阶段:预加热、持续加热和恒温加热。本论文主要介绍多晶硅还原炉自动调功器的硬件系统设计以及设计中要解决本文所设计的远鞴ζ髟谑笛槭业魇猿晒螅延块提交工作现场还原炉加热集成控制系统需要,抗干扰能力达到了工业现场运行的要求。关键字:多晶硅,鞴Γ本文首先对多晶硅硅芯进行了多次缩比试验,掌握了多晶硅硅芯在不同环境条生产原理和自身电气特性,根据现场还原炉生产需要,设计研发出多晶硅还原炉加热集成控制系统。多晶硅还原炉加热集成控制系统主要包括预加热控制系统和加热调功系统两加热调功系统是多晶硅还原炉加热集成控制系统中最重要的部分,而动调功器是加热调功系统的核心部分。的问题。具体内容包括以下几个方面:⒛D馔ǖ啦糠郑⑹滞ǖ啦糠郑/部分:⒌缭床糠使用,现场实际使用情况证明本文所设计的远鞴ζ餍阅苌下懔硕嗑Ч
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课题研究背景及意义第一章绪言.⒄固裟艿囊庖.⒄苟嗑Ч璧囊庖衷谑澜缟洗蟛糠止叶汲鱿至四茉垂┯Σ蛔愕奈侍猓揖菘蒲Ъ曳析全球现今已探测到的石油储量只能用到年,天然气资源也只能用到蚴偷茸试吹钠诨跫鄹窨焖偕险牵岩鹑虻哪茉纯只牛死嘁经清醒地预测到全球旧能源枯竭的尽头;大的挑战性:宓墓扰欧攀票卦斐傻厍蛏系奈率倚вΓ涸谌忌湛笫茉吹过程中,也会释放出大量有害的气体,会给环境造成很大的污染】。基于上述原因,开发新能源、可再生能源、绿色能源已成为人类社会今后的点而成为人类生存的共同选择。太阳能电池是利用太阳光与材料相互作用直接产生电能的,是对环境无污染的可再生能源,它的应用可以解决人类社会发展在能源需求方面的三个问题:开发宇宙空间所需的连续不断的能源;地面一次能源的获得,解决目前地面能源面临的矿物燃料资源减少与环境污染的问题;日益发展的’在内的任何气体,这对改善生态环境、缓解温室气体的有害作用具有重要意义。研发了第一块太阳能电池至今,硅却一直是光伏材料领域的主角。多晶硅作为基世纪人类社会面临可持续发展和实现经济快速增长的重大挑战,而其中的能源问题已成为全球经济发展的热点和难点:年,就算是储量丰富的煤炭资源最多也只能维持两百多年;茉吹亩倘钡贾铝死飞系囊晾苏秸椭卸吐佣嵴剑⒓绦着全球因争夺石油资源而触发的国际纠纷,乃至石油战争;嗣窃谑褂檬驼庑┚赡茉吹墓讨型币捕晕颐堑纳婊肪炒戳撕重大课题。在这些能源中,太阳能发电由于其清洁、对环境无污染、可再生等特消耗电子产品随时随地的供电问题。特别是太阳能电池在使用过程中不释放包括从固体电子学的观点来说,硅不是理想的光伏材料。但从年贝尔实验室
.谕舛嗑Ч枭榭腑本的太阳能电池材料占据着统治地位,它占据了%的光伏市场,而且可以确信这种状况在今后年中不会发生根本的转变。这是由于多晶硅太阳能电池突出的优嗑Ч杼裟艿绯鼗咕哂械突肪掣汉梢约靶阅艹志糜诺恪表和表分别是国外、国内主要多晶硅生产制造商—年的产量点所决定的,即:璨牧侠丛捶岣弧⒍椅薅疚藓Γ晶体硅光伏电池的光电转换效率比较稳定;随着对多晶硅电学特性的认识,多晶硅具有和单晶硅光伏电池相比拟的光电转换效率;嗑Ч杈哂薪档筒牧铣杀镜那绷Γ多晶硅光伏技术的发展有利于加快未来的多晶硅薄膜太阳电池的研究进程;和生产能力】【电子科技大学硕士学位论文表世界主要多晶硅制造商产景和生产能力公司产量名称年正钲焦三菱表国内三大多晶硅制造商的产量和生产能力新光硅业洛阳中硅峨眉半导体。
.谕舛嗑Ч枭际跸肿从表籰和表可以看出国内多晶硅生产厂商与世界先进厂商相比年产量还下几个方面:ひ丈璞嘎浜螅嗖肺锪虾偷缌ο墓螅衔侍舛啵牍仕诙嗑Ч枭笠导际醮葱履芰Σ磺浚⊙芯孔式鹜度胩伲绕涫目