光的干涉测量薄膜厚度.ppt

文档介绍：熟悉了解迈克尔逊干涉仪
主要内容:
了解迈克尔逊干涉
仪结构及原理

1. 迈克尔逊干涉仪光路及结构
单色光源
反射镜
反射镜
与成角
补偿板
分光板
移动导轨
反射镜
反射镜
单色光源
光程差
的像
当垂直于时,可形成等倾干涉条纹.
当不垂直于时,可形成劈尖型等厚干涉条纹.
反射镜
反射镜
单色光源
干涉条纹移动数目
迈克尔逊干涉仪的主要特性
(1)两相干光束完全分开;
(2)两光束的光程差可调.
移动距离
移动反射镜
干涉条纹的移动
当 M1 与 M2 之间距离变大时,圆形干涉条纹从中心一个个长出,并向外扩张, 干涉条纹变密;距离变小时,圆形干涉条纹一个个向中心缩进, 干涉条纹变稀.
等倾干涉条纹
M1
M1与M2'重合
M2'
M2'
M1
M1
M2'
M2'
M1
M2'
M1
M1
等厚干涉条纹
插入介质片光程差
光程差变化
光程差
干涉条纹移动数目
介质片厚度