文档介绍：万方数据
.��胐高功率���鸶帐�ず焱夤庋Р牧现票����嘶�.����瑆���骽��鰈���������������.��韍�鷄��������毗������锄���姗�����珊��琺��鷓���锄��Ω蔗����遜�鷒�红外与激光工程��������篴��,“�����酰瑂����眛�琾��砌�����的��于盛旺·,安康��钕��,申艳艳���丛�,贺志勇��票�,唐伟忠��.太原理工大学表面工程研究所,山西太原���;��泄��骺蒲а芯吭耗�ǚ衷海�浙江宁波���;��本┛萍即笱Р牧峡蒲в牍こ萄г海�本����要:使用自行研制的椭球谐振腔式���爸茫�訦。一��F�矗�透吖β侍跫�翪�浓度对金刚石膜的生长速率和品质的影响规律进行了研究,并在此基础上进行了大面积光学级金刚石膜的沉积。利用扫描电镜、激光拉曼谱仪、傅里叶红外光谱仪对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质、红外透过率等进行了表征。实验结果表明,使用自行设计建造的椭球谐振腔式���爸�在高功率条件下通过提高��ǘ然崾菇鸶帐�さ纳�に俾试黾樱�ǖ眂�浓度达到一定比例后,金刚石膜的生长速率将不再继续提高。��ǘ仍�.�ヒ�%时制备的金刚石膜品质较高;自行设计建造的椭球谐振腔式���爸媚芄宦�阍诮细吖β氏鹿庋Ъ督鸶帐�さ目焖俪粱�G蟆�关键词:椭球谐振腔式���爸茫���ǘ龋�光学级金刚石膜;高功率;生长速率中图分类号:��文献标志码:�文章编号:��—������—��一��甎���鹴:��������觚�第�卷第��摘�蚢�����时��畁���曲�����猤,������一�����遷�����羇���%一�ィ畁���年�������,�����,�������琀����琓�������,�贰辫����珻������锄����,��������珺�������������廿������甇�����,�唱���猻��������.�������猻������廿���.��仃���牵��山����垃�����,������瓾��收稿日期:��—�一�;修订日期:��—�一�基金项目:国家自然科学基金�����作者简介:于盛旺����,男,博士,主要从事薄膜材料及高功率微波等离子化学气相沉积金刚石膜技术与装备方面的研究。�Ⅱ�山�������甀’�������,���;�畇������篵������甤�
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锄�����速率进行了估算。采用激光拉曼�锄��谱仪对金刚��愣遬�覲����惫籶��笛���鷓��;��金刚石不仅具有优异的机械性能,其热学性能和光学性能包括热导率、光谱透过范围、抗热震能力等也十分优越。正是由于具有这些优异性能,金刚石成为了一种极佳的红外光学窗口材料。以金刚石膜材料制成的光学窗口可以拥有高达������¨�痗�的抗热震优值,而相比之下,常用于红外光学窗口的��目谷日鹩胖抵挥�����¨�痗��俊R虼耍��刚石膜特别适用于制造在极端恶略的环境中工作的各种光学窗口。在金刚石膜的诸多制备方法中,微波等离子体化学气相沉积����ㄓ捎诰哂谐粱��炭刂�性好、无放电电极污染等优点,因此成为制备金刚石膜红外光学材料的首选方法。但���椒ㄗ�主要的缺点是其金刚石膜的沉积速率低,特别是在制备较大面积的金刚石膜材料时,其沉积速率一般只有��,�笥易��Q芯勘砻鳎�岣進�