文档介绍:⒅俺啤⒀弧⒌ノ幻萍暗刂论文提交日期答辩委员会主席评阅人注鹤⒚鳌豆适掷喾║睦嗪拧饷透碧饷髡咝彰学位授予单位和日期..,●争,/
己嵋、
塑遒型煎独创性声明论文使用授权日期:畂年络嗳日期:加/年岁月巧日本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑导师签名:签名:
一■
摘要有机薄膜晶体管又名有机场效应管,是基于传统的无机场效应管的基础上发展起来的一种有机电子器件,它具有低功耗、重量轻及体积小等优点,因而自问世以来就受到了研究人员的普遍关注,目前它的性能已经接近或超过非晶硅薄膜晶体管的水平,并被广泛应用于有机电致发光显示、大规模和超大规模集成电路等领域。随着新型有机敏感材料的开发,有机薄膜晶体管也被尝试运用于化学分析物和气体的检测。本文以凸栉3牡住>挡悖直鸩捎眯亢驼婵照舴⒎ㄖ票噶司夯绶筒⑽灞奖∧ぃ云渥魑S性床阒谱髁说渍ぜǖ捉哟ソ峁沟和并五苯有机薄膜晶体管器件。通过研究器件的电学特性,进一步地探讨了器件的工作机理,并分析了工艺条件对器件性能的影响,包括绝缘层和有源层的生长质量以及它们之间的界面特性等等。为了论证有源层的晶形态与电学性能的关系,、原子力显微镜分析和湎哐苌浞治龅确椒ǘ設骷挠性床惚∧さ男翁结构进行了表征分析,结果发现,结晶度越高、晶界越少,器件的性能更加优越。这也就解释了单晶器件具有比多晶器件更高的场效应迁移率的原因。除了薄膜生长条件,成膜方法也会影响薄膜的晶形态进而影响器件的性能,关于这一点在对有机薄膜晶体管的研究中也得到了证明。有机薄膜晶体管虽然用途广泛,但将其应用为气体传感器的却并不多见。在实验中把制备的和并五苯有机薄膜晶体管暴露在不同的气体中,研究了器件对各种气体的响应特性,结果表明,基于的有机薄膜晶体管对现出了良好的响应重复性和可逆性及较高的灵敏度,对簿哂薪虾玫南煊μ性和较短的响应恢复时间。另外,对甲醇、乙醇和正丁醇等有机蒸气也具有一定的敏感特性。与此同时,并五苯有机薄膜晶体管对乙醇蒸气也表现出了显著的敏感特性,而对甲醇蒸气、、绕宀幻舾小Q芯恐谢狗⑾郑琌器件对气体的响应强度和灵敏度可以通过栅极电压来调制,这意味着选择合适的栅压可以获得较高的响应灵敏度,这是传统的化学电阻式传感器所不具备的。最后,对气体传感器的敏感机理进行了初步的分析和探讨。关键词:有机薄膜晶体管,有机场效应管,气体传感器,⑽灞
琁●
甒琽一痯.,:,—.癰猤痑“.眂甈/,琣甌。瑃琣—,.甀●●‘
.一垒堡璺估———————————————————————————————————,·琤;;.琾甅瑃、啊:.甀,,·甀瑃;,—.
第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯..有机薄膜晶体管的研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.有机薄膜晶体管存在的问题和发展趋势⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯有机薄膜晶体管传感器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本论文的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章有机薄膜晶体管的基础理论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.有机薄膜晶体管的结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..有机薄膜晶体管的材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..ú牧稀有机薄膜晶体管的工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯有机薄膜晶体管中的载流子传输机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第三章有机薄膜晶体管的制备及性能测试方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..器件结构和材料的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯基片清洗⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.中有机半导体的成膜工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.薄膜的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⑽灞奖∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.目录琁’中有源层薄膜的结构分析方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯的性能测试方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯器件参数对目录.
第四章基于的有机薄膜晶体管的气敏特性研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜的表