文档介绍：中文摘要本文研制的硅悬臂梁流速传感器是在硅杯的悬臂梁根部采用技术制作而另外两个置于横向位置。在流体作用在流速传感器表面对硅悬臂梁施加压力,输出端产生端电压输出,从而实现了将压力信号戳魈宓牧魉转化为与之有本文在综述了国内外流速传感器研究概况的基础上,论述了硅悬臂梁流速传感器的结构设计、工作原理、制造工艺,对实验研制的流速传感器的匦浴⑽露特性进行了实验测试和静态特性分析。实验结果表明,研制的硅悬臂梁式流速传痬,线性度为捣.%甋,迟滞为%,本课题采用甅档赖刃У缱枳鲅姑舻缱瑁坏銮苛舜ǜ衅鞯奈榷性,降低了传感器的噪声,而且测量信号稳定,温度特性较好,灵敏度较高,能够客观地、准确地采集到微小流体的流速。基于技术制作的硅悬臂梁流速传感器的制作工艺与集成电路工艺相兼容,有广泛的应用前景。关键词:硅悬臂梁流速传感器;技术;惠斯通电桥;甅四个甅组成惠斯通电桥,令两个甅置于硅敏感膜的径向位置,悬臂梁根部电桥中两个径向的甅沟道等效电阻阻值增大,两个横向甅沟道等效电阻阻值减小。因此使桥路失去平衡,在激励源供电情况下,对应关系的电压信号输出。感器灵敏度为./重复性为±甋,精度是%仙杓埔G蟆
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⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯压阻效应与压阻系数概念⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”硅悬臂梁流速传感器的供电电压与输出分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··中文摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第滦髀邸璴流速传感器的研究背景及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯流速传感器在国内外的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.........⋯⋯”常见的流速传感器及发展情况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.绱帕魉俅ǜ衅鳌..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文的主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·第鹿栊哿毫魉俅ǜ衅鞯墓ぷ髟矸治觥甅墓ぷ髟怼惠斯通电桥的调零⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅悬臂梁流速传感器的灵敏度温度补偿研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.阊乖垂┑┑纭本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第鹿栊哿毫魉俅ǜ衅鞯慕峁股杓朴敕治觥半导体材料选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅悬臂梁厚度设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”◆黑龙江大学硕士学位论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.,.⋯”:⋯¨Ⅱ
..匦圆馐浴满量程输出的理论计算⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”.胱幼⑷︸詈系壤胱犹蹇淌础硅悬臂梁流速传感器的制作工艺流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯甅沟道位置的确定⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅悬臂梁流速传感器的接口放大电路⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯“⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”第鹿栊哿毫魉俅ǜ衅鞯陌嫱忌杓朴胫谱鞴ひ铡硅悬臂梁流速传感器的版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯研制硅悬臂梁流速传感器的制作工艺⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·硅悬臂梁流速传感器的封装⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”第鹿栊哿毫魉俅ǜ衅魈匦圆馐浴硅悬臂梁流速传感器特性测试与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯◆目录.