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每衍静财日期:≯加年歹月夕∥日日期:≯咖年律廊学位论文版权使用授权书日期:办咖年孪Χ嗳本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名:本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权湖南大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位本学位论文属于⒈C芸冢年解密后适用本授权书。⒉槐C芸凇獭朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖颉啊獭论文。导师签名
摘要微小光学元件的制造主要拥有超精密机械加工和热压成型两种技术,其中热压成型作为一种复制技术,是一种适合批量生产的低成本技术。无论是超精密加工直接获得的微小光学元件,还是热压成型所需的模具,均需要后续的光整加工,以进一步提表面质量和面型精度,以达到应用要求。磁流变研抛技术且恢中滦偷娜嵝怨庹庸ぜ际酰哂幸卓刂啤⑷除函数稳定、无亚表面损伤等优点。针对微小光学元件及模具的光整加工,结合磁流变研抛特点,本文对磁流变斜轴研抛工艺进行了研究,以实现对微小光学元件诰兑韵的光整加工。本课题来源于国家翁非球面超精密复合加工机床原型样机的研制⒐易钥苹鹬邪暮献骰鹣钅微光学元器件的纳米制造技术约肮科技支撑计划重点项目涤霉庋妇导澳>叱苎心ゼ庸ぷ爸糜牍ひ,论文主要围绕如下有关磁流变斜轴研抛装置开发和工艺研究进行展开:酉钟械拇帕鞅溲信谆纠砺酆拖喙刈柿衔南壮龇ⅲ爬ㄗ芙崃舜帕鞅研抛的基本原理和理论模型,并根据微小光学元件的加工特点,研究了针对微小光学元件光整加工的磁流变斜轴研抛工艺。菸⑿」庋г<募庸ぬ氐愫痛帕鞅溲信自恚蟹⒘舜帕鞅湫敝嵫抛装置。详细介绍了装置的总体结构布局、电源单元设计、循环系统设计以及实现微小光学元件、微小模具研抛的磁性研抛工具头设计构造。根据研抛路径对研抛后质量的影响,针对微小非球面的磁流变斜轴研抛进行了路径规划。荽帕鞅溲信滓旱奶匦裕治隽舜帕鞅溲信滓焊髯槌沙煞侄云湮榷性、流变性、离散性、研抛性能的影响。根据分析结果确定了各组成成分的比例,配置了优质磁流变研抛液,并利用配置的磁流变研抛液进行了工艺试验,证明其有良好的研抛效果。么帕鞅湫敝嵫信鬃爸煤团渲玫拇帕鞅溲信滓航辛斯ひ帐匝椋直对平面玻璃元件、红铜非球面、碳化钨非球面模具、单晶硅非球面光学元件进行了研抛,研抛后的玻璃表面质量达到良好效果,红铜非球面、碳化钨非球面、单晶硅非球面的表面质量和形状精度都得到了提高。关键词:磁流变斜轴研抛装置;斜轴研抛;磁流变研抛液;微小非球面硕貉宦畚
①猺猳猵,..,琋..,,微小光学元件磁流变斜轴研抛装置开发及其加匦匝芯猵畊,芻甌.