文档介绍：答辩委员会主席——主二己和阅人———枚!R劣嗬泶醮蟠姓名—莹童遣恢俺啤猨丝弧6恢饕分类号——位学论文鲞垫王盟盘盟壅堕邀盘查垫墨王芤闝凼曼黁垒塑遁鱼丛丛皇煎堂墨堕坠墨煎硇丛樗扣觟血论文答辩日期趁В骸唬盒年堕蹇生塑±学科专业名称垫邀曼堡论文提交日期生§
签名:顺苋掌冢骸K克勘研究生瑁郝璧际捌:啵⒒と征輕独创性声明学位论文使用授权书本人声明,所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得武汉理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全了解武汉理工大学有关保留、使用学位论文的规定,即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权武汉理工大学可以将本学位论文的全部内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存或汇编本学位论文。同时授权经武汉理工大学认可的国家有关机构或论文数据库使用或收录本学位论文,并向社会公众提供信息服务。C艿穆畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑
摘要氮化镓宽禁带材料因其耐腐蚀性、热稳定性好,是制备獾缱悠骷优质材料。石英光纤材料在光纤通信与传感方面用途广泛,其重要性不言而喻。但上述两种材料均属于硬脆性材料,传统方法的加工难度较大。而超短激光す夂头擅爰す因其对材料的热影响小,可望成为氮化镓与光纤材料的理想微加工工具。基于此,本文分别利用滩ǔぜす狻⒎擅氤搪龀寮す舛缘;基材料和光纤材料进行微加工特性研究。本文简要介绍了两种激光的作用机制和特点,并分别利用两种激光对氮化镓、光纤材料进行一系列的微加工实验,研究两种激光加工参数与刻蚀质量之间的关系。本文主要内容和成果如下:芯苛す飧髦旨庸げ问缘;鼗氲继宀牧霞す馀坠狻⒓す切割质量的影响。实验结果表明,在一定范围内,扫描速度的增大会引起微平面粗糙度的增加,脉冲频率的增大、光斑尺寸的增加或扫描间距的减小,都会降低微平面加工质量,且激光加工能量的大小对加工效果会产生较大的影响。利用す舛缘;夭牧辖星懈钍匝椋治隽死虢沽慷郧蟹焐疃群涂矶的影响,并采取不同加工方式进行了试验,寻求较好的加工工艺。梅擅爰す舛缘;夭牧辖屑す馀坠夂颓懈钍匝檠芯浚教旨庸げ问与加工质量间的关系。试验结果表明,脉冲能量的增加、扫描次数的增加,微平面的加工效果都较差,且扫描间距对加工质量并没有较大的影响。在切割试验中,随着脉冲能量的增加、扫描速度的减小会引起切缝深度的增加。且有效脉冲数的减小或扫描速度的增加,切缝宽度会随之减小。并采用从正、反两面开始加工的方法,对加工质量进行对比,选取较好的加工方式。梅擅爰す舛允⒐庀瞬牧辖星懈钗⒓庸ぃ芯考庸げ问肭懈疃厦质量的关系,寻求较理想的加工参数。实验结果显示,在不同脉冲频率下,光纤断面垂直度随着激光加工功率的增加有下降的趋势。光纤断面垂直度会随着扫描速度的增加而减小,随着平台倾角的增加而增加。为改善加工端面垂直度,对带涂敷层光纤材料进行切割加工,并将其加工效果与裸光纤的加工效果进行对比,选择较好的加工方法。关键词:す猓擅爰す猓;鼗氲继宀牧希⒐庀武汉理工大学硕士学位论文
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目录第鲁碳す馕⒓庸は低摘要第滦髀本课题研究的目的和意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯氮化镓基材料及光纤材料的微加工研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯准分子激光加工系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯飞秒激光微加工系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⒓庸ぁ牧系闹票赣胩匦浴す舛訥基半导体材料的抛光加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.龀迤德识郧懈钪柿康挠跋臁武汉理工大学硕士学位论文......
.蛊矫嫠谖恢枚郧懈钪柿康挠跋臁本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第路擅爰す舛訥材料的微加工烧蚀阈值的计算⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯