文档介绍：—精密光栅纳米级承载工作台设计与研究学位授予单位及代码:丝壹堡王盔堂研究方向:扭电丕筮揎剑皇量莶±指导教师:绽送壹熬堡生:奎蚩编号竖学科专业名称及代码:扭煎皇王王猩申请学位级别:亟研究分类号密级论文起止时间:窒.
摘要发展,它在许多方面己经非常成熟,但现代技术的发展又为其带来了新的发展空间。样一个背景下完成的。工作特性及控制应用进行了深入的研究,以光栅干涉原理为理论基础,设计了工作台算机通讯,利甩砑嘀屏讼低成衔换砑怨ぷ魈ń辛瞬饬渴笛椋锏搅艘关键词:纳米光栅微位移工作台光栅尺光栅式位移测量技术的研究是一个既传统而又具有现实意义的课题,经过几十年的尤其是大量程、高精度、高分辨率、低成本的位移测量技术在超精加工、微电子、微机电系统、微纳米技术等领域具有广阔的应用前景。本文的研究工作就是在这本文的主要研究内容和成果如下:提出了精密光栅纳米级承载工作台的设计方案,设计了工作台的结构,对步进电机的光学系统,对光栅种类,莫尔条纹的工作原理,细分技术进行了分析,归纳了多种细分技术,对光学系统的主要部件如:光源、光电接收元件、栅距等进行了研究,设计了硬件四倍频电路,对莫尔条纹进行了软件的阜郑ü锌谑迪钟爰求的技术指标,系统分析了光栅位移测量系统精度的各种因素。
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奎窒奎杰丝盥年旦月旦日年;月荜日垫昝嗽滤咳长春理工大学硕士学位论文原创性声明长春理工大学学位论文版权使用授权书本人郑重声明:所呈交的硕士学位论文《精密光栅纳米级承载工作台设计与研究》,是本人在指导教师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名:本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定獬ご豪砉ご笱ПA舨⑾蛑泄蒲畔⒀芯克⒅泄判悴┧士学位论文全文数据库和系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。:/。
第一章绪论弗一早硒陀课题研究意义长短、形状及位置的物理量。其中长度是几何量的基本参量,长度量的精密计量具有统等的兴起与发展对长度量的测量提出了越来越高的要求。近几十年来,随着激光技其精度要求都很高,这些元件的加工质量将直接影响到制导的精度。另外,高精度陀螺仪的加工、卫星姿态控制轴承孔以及轴承外圆的圆度、圆柱度也都为纳米级,因此,门还是军事领域等,纳米测量都有着巨大意义。世界上许多科学家正在从事这方面的为:纳米级测量已经成为当今测量领域的热点,在新的世纪要继续解决好纳米尺度的产器,配以四细分电路,其优点是结构简单,跟踪速度高,工作可靠。但这种光栅数显木ǘ龋袒G木ǘ鹊龋J迪志ǘ炔饬浚绾翁岣呒屏抗庹は低车姆直媛适枪丶际酰启动、快速退刀、军事雷达的目标搜索、跟踪等都会因测量系的速度响应低造成误差,光栅系统的分辨率可以通过高光栅的刻划密度和光栅信号细分倍数来提高,光栅的刻几何形状是客观世界中最广泛最具体的物质形态,几何量就是表征客观物体大小、极为重要的意义。近代机械工业尤其是当代超精密加工技术、微/纳米技术、微机电系术在精密位移测量嵋械挠τ茫ざ攘康墓こ滩饬考际跤辛朔伤俚姆⒄埂V圃煲凳枪的支柱产业,是一个国家、一个民族赖以繁荣昌盛的最根本的基础。世界各国都十分重视制造科学和制造技术的研究,美国科学基金会将先进制造列入优先资助领域。当前,制造科学和制造技术正向超精密、微细化方向发展,超精加工己成为先进制造的重要内容之一。目前,超精加工已进入纳米技术领域,具有纳米级分辨率的测量技术⋯是超精加工中不可缺少的一环,也是急待解决的关键技术之一。纳米级的测试技术在现代武器装备的制造中有着非常重要的作用。现代局部战争已经体现出“高精度’’的特点。例如,在海湾战争和空袭南斯拉夫的作战中,美军大量使用激光制导炸弹。激光制导炸弹所需的激光跟踪,激光照射中许多激光元件如激光反射镜、非球面透镜,在武器装备现代化的过程中,超精加工和超精检测的重要性是毋容置疑的。现代工业技术对精密位移测量也提出了越来越高的要求,例如在微电子行业、超精加工行业等,半导体工业中的高精度模板的制造和定位,高精度传感器的标定;在科学研究中的量子物理学、化学、分子生物学等都需要很高的位移测量精度。无论是对国民经济各部工作,也为此提出了许多测量原理和方法,纳米计划在欧洲、在美国、在日本都非常受到重视。年月在中国召开的“面向世纪计量测试理论与仪器’’研讨会