文档介绍：论文作者签名:兽一羞监拉毕盘狻捌:趱弛笈幺丝逝辽叁差逝运幺茔指导教师签名:论文评阅人评阅人答辩委员会主席:委员
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⋯:诊彳学位论文作者躲粆寡学位论文作者签名:卢反磊签字日期:为纺旯耭学位论文版权使用授权书签字日期:年弓月∥日浙江大学研究生学位论文独创性声明晗缭翵歹日本学位论文作者完全了解滥姿盘堂有权保留并向国家有关部门或机签字日期:为表或撰写过的研究成果,也不包含为获得逝姿盘堂或其他教育机构的学位或构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝姿盘堂本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ中作了明确的说明并表示谢意。印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。
摘要本文设计并采用直流磁控溅射技术,制备了无定形碳氮基的纳米复合薄膜擅拙ЯO馇兜奶嫉;腡∧以及纳米多层结构薄膜/瓹纳米多层膜⒍员∧ぷ橹峁购突敌阅艿谋浠媛山辛讼低车难芯俊诮ι淦共槐涞奶跫赂谋涞F碗财牧髁勘龋ü趴亟ι銽甤复合靶材,制备了不同组分和结构的纳米复合薄膜。通过治觯现随着氮气流量增加,薄膜中吭黾樱珻含量降低,含量几乎不变。结合分析以及平面墓鄄欤⑾治赐ㄈ氲F保∧ぷ槌晌结晶度较高的煌ㄈ氲F螅∧ぞЯ1湮随氮气流量的增大,薄膜中蚑辣戎涤性龃笄魇啤分析表明氮气流量增加,∧さ牧ρ阅懿馐员砻鳎ㄈ的氮气时,薄膜的硬度和弹性模量均最大,并且表现出最佳的抗裂纹扩展能力和摩擦磨损性能。捎么趴亟ι湓诘F碗财障陆惶娼ι銽泻虲靶,,,痑.。纳米多层膜具有较高的硬度。。瓹层厚度为的痑.∧び涤凶畹偷哪ニ鹇省关键词:碳氮基纳米复合膜,纳米多层膜,力学性能,摩擦磨损性能的蚑琋于
摘要
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