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学位论文作者:闭门订日:昂衷虑只期≯“年驴力日、原创性说明学位论文使用授权声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用期学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。学位论文作者:、,
摘要刚石鷒撬形镏手猩砻娌ùúニ俣茸羁斓牟牧希越鸶帐;自随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高的频段移动,声表面波瞬ㄆ魇窍执尴咭贫ㄐ畔低车墓丶骷唬淦德刹牧系纳砻娌ùúニ俣萔和叉指电极周期龆ǎ琭兰疞。由于所采用的压电材料及光刻技术的局限,目前声表面波器件的工作频率很难达到=现有的光刻工艺条件下易于制备谋∧ば蚐器件,然而金刚石本身不具有压电性能,不能激发声表面波,必须在其上镀一层压电层,如等。因此,以金刚石为基底制备高频骷晌5鼻肮噬系难芯咳鹊恪本文利用际踉赿/衬底上通过引入缓冲层制备高度崛∠的压电膜,系统探讨了工艺参数对压电薄膜的结晶质量、取向及表面形貌的影响。通过研究得到以下结果:捎肞技术首次在以非晶为缓冲层的疭牡咨现票赋了具有良好晶体质量且完全崛∠騆∧ぁL剿髁斯ひ詹问訪膜取向性和晶体质量的影响,获得了制备完全崛∠騆∧さ淖罴压艺参数:衬底温度约为妫跹乖嘉す饽芰棵芏仍嘉./∠騔薄膜为缓冲层的疭牡上制备出了具有良好晶体质量的高崛∠騆∧ぁL剿髁顺牡孜露取氧气压强等参数对膜取向性和晶体质量的影响,得到了制备高崛向薄膜的最佳工艺参数:衬底温度约为妫跹乖嘉す能量密度约为痚す庵馗雌德试嘉,靶材与衬底距离约为。坪玫幕谱鞒善骷蠸测试,获得了痵以上的声表面波速度,声表面波速度的提高有利于制作高频的骷关键词:压电膜,金刚石基底,崛∠颍龀寮す獬粱ǎ砻波性能
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目录文献综述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯笛樵砗褪笛楣獭癗疭痙/多层薄膜结构的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯声表面波技术和声表面波器件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯际醯姆⒄埂骷脑砗陀τ谩骷姆⒄⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯金刚石基压电薄膜声表面波器件研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜声表面波器件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯./疭嗖惚∧そ峁寡芯俊制备“薄膜存在的问题⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文的立项依据和主要工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..脉冲激光沉积脉冲激光沉积简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯啤∧ぶ票赶低臣蚪椤薄膜的制备工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.胁牡闹票浮票窵∧さ墓獭分析表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一缓冲层的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一薄膜的制备工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜的结构表面分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一引入缓冲层的必要性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.工艺参数对薄膜质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一衬底温度对“薄膜的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.跗骨慷訪∧ぶ柿康挠跋臁激光能量密度对薄膜质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.......................................................⋯.....................⋯................
/痙/多层薄膜结构的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯在校发表的论文与研究成果⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯阅懿馐浴芙帷致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..∧ぶ柿康挠跋臁激光重复频率对薄膜质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯缓冲层厚度对薄膜质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯撼宀愕闹票浮撼宀愕闹票腹ひ铡∧し治