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薄膜的制备方法及其应用�李石周,廖华,肖祥江,白红艳,安家才,王建秋,付蕊,谢明达��罕∧さ闹票阜椒�四方晶系,点群�痬�,空间群��痬�.作为一薄膜具有折射率低��.��⑼该鞑ǘ慰����、能隙宽�,���、热稳定性好、机械强度大和激光损伤阈值高等优异性能,是制备增透膜、高反膜和高损伤阈值膜的重要材料Ⅲ��虼薓�:薄膜在各种光学膜层制备中有本文研究���∧さ闹票阜椒ḿ捌湎喙赜�用,逐渐探索其在太阳电池上的应用。目前���∧さ闹票阜椒ㄖ饕S校赫婵照舴�法、磁控溅射法、溶胶一凝胶法、脉冲激光淀积法等,其中应用最多的是电子束蒸发法。��溶胶一凝胶法��—���‘����甏�⒄蛊鹄吹囊恢�制备玻璃、陶瓷等无机材料的新方法。它是将金备方法�缃ι浞ā⑺�确ǖ�相比,有很多优点,如化学均匀性好、纯度高、颗粒细、操作简单等。但其工艺程序复杂、薄膜厚度与均匀性控制稍差。崔延霞等采用溶胶一凝胶法旧��源姿崦竞�***化氢为原料,用甲醇为溶剂制备了��喝芙海�通过该方法制备出的���∧け砻嫫秸��谧贤�区的增透性能良好,具有较高的抗激光损伤性能。脉冲激光淀积法���且恢止惴河τ玫男�兴的薄膜制备技术,与其他技术相比最主要的优点是它能得到化学配比良好的材料,目前已广泛应用于化合物半导体材料∞一�统�疾牧稀�的于琳等利用脉冲激光淀积方法制备了���测试分析。�湎吖獾缱幽芷追治鱿允狙�肪哂�之间,接近体材料,在可见光波段其光透过率为由克喇末一克劳尼格关系�虺芀�叵�变换计云南师范大学学报�匀豢蒲О���年���卷�������.��������痡.��.������***化镁��:�俏奚ń鸷焓����型结构,种广泛应用的光学性能优良的镀膜材料,***化镁���一�着广泛的应用。属醇盐或无机盐经水解或经解凝形成溶胶,然后再将溶质聚合凝胶化、干燥、焙烧,最后得到无机材料的一种方法。它与许多其他的纳米微粒的制并利用浸渍提拉法在石英基片上镀膜,结果表明:��脉冲激光淀积法制备。光学薄膜¨��云浔砻嫘蚊惨约肮庋�灾式�辛�很好的化学组分配比,�疢��颖仍�.��.��%~�%,在红外波段达到了�%以上,而且算的折射率大约为����步咏�宀牧险凵渎���磁控溅射法磁控溅射技术也是被广泛应用的制备薄膜的�����颇鲜Ψ洞笱��裟苎芯克�唤逃�靠稍偕�茉床牧舷冉�际跤胫票钢氐闶笛槭遥�云南省农村能源工程重点实验室,云南昆明����摘要:概述了��罕∧さ闹票阜椒ḿ捌湓诟髁煊蛑械挠τ谩Mü�灾票阜椒ǖ亩员妊芯亢头�析,得到:众多的方法中,真空蒸发具有较为简单的设备和方法;而应用最多的是电子束蒸发法。���薄膜以其优异的性能已广泛应用于各行业中。关键词:***化镁;制备方法;应用;减反射膜中图分类号:��文献标志码:文章编号:��—������—��—���崭迦掌冢�������作者简介:李石周����,男,云南马龙人,硕士研究生,:廖华,博士,研究员,主要从事太阳能光伏应用研究.������.��.����������
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气中分别进行了����娴母呶峦嘶穑�⑾盅���薄膜的应用方法,与其他方法相比,具有较低的沉积温度、较高的溅射速率、沉积的薄膜附着力强、设备操作简便、制造成本较低、易于进行大批量生产等优点,目前已广泛用于各种薄膜材料的制备�