文档介绍：半导体传感器,
催化燃烧式传感器,
红外吸收传感器,
电化学式传感器
摘要
利用六西格玛(six sigma)统计工具对电化学硫化氢(H2S)气体传感器的气体敏感特性进行了研究, 并运用 Minitab 软件对测试数据进行了系统分析.
结果显示, 所测电化学气体传感器对H2S气体响应良好
意义
传感器的结构及工作原理
电极反应过程如下:
实验部分
基本性能测试
线性测试
温度测试
电流转换成电压输出
输出电压与气体体积分数是线性相关
几种特定统计工具对传感器性能进行研究
(1) 过程能力
需要确定所分析的变量之间是否具有线性相关性, 按照“统计→基本统计量→相关”来操作, 从输出结果中可以观察到一个 P 值, 如果 P < , 则认为变量是线性相关的. 需要对存在线性相关性的两个变量建立一元线性回归方程.
(2) 回归方程.
先判断数据是否服从正态分布, 按照“统计→基本统计量→正态性检验”来操作, 从绘制出的概率图中可以获得一个 P 值, 若 P > , 则数据服从正态分布. 再判断服从正态分布的数据的过程能力是否符合要求.
(3) 箱线图.
运用 Minitab 软件绘制箱线图, 从中可以粗略地看出所分析数据的分布情况,以及数据的中心位置及其是否具有对称性.
结果及分析
影响因素
传感器的响应输出值随温度的变化
气相扩散中气体的扩散系数随温度的升高而增大, 随压强的减小而增大
传感器的内部结构及电极
气体不仅仅以一种模式进行扩散. 在毛细管扩散孔的上面贴有一层防尘膜, 内部还有电极膜,气体在这些膜中的扩散属于固相扩散,因此实验所得温度系数比理论值略大