文档介绍：? 1994-2010 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 年4月微纳电子技术第47卷第4期GaN基多层结构椭偏测试模型优化和光谱研究赵金霞1,杜江锋2,彭明明1,朱石平1,秘暇1,夏建新2(,石家庄050051;,成都610054)摘要:利用椭圆偏振测试仪,对n+AlGaN/n-AlGaN/超晶格(SL)/AlN/蓝宝石多层复杂结构的椭偏测试方法进行了研究,其中SL层为AlGaN/GaN多层量子阱结构,将其简化为单层处理。通过改变测试条件进行多次测量,分析了结构模型、算法模型及不同入射角度对测试结果的影响,得到了最优测试结构模型和算法模型:粗糙度层(有效介质近似EMA模型)/n+AlGaN(柯西Cauchy模型)/n-AlGaN(Cauchy)/SL(EMA)/AlN(Cauchy)/蓝宝石。选择55°为入射角,在300~800nm波长测试得到了各层膜厚和光学常数谱。结果表明,椭偏测试所得各层膜厚度与工艺给出数据相符,但SL层厚度相对而言有较大偏差,这与其结构复杂性有关,尚待进一步研究。各层折射率色散关系正常,n+AlGaN层折射率与n-AlGaN层折射率相比偏小,这与其较高浓度和较大损伤有关。关键词:氮化镓;氮化铝镓;椭圆偏振测试;光学常数谱;折射率;消光系数中图分类号:;:A文章编号:1671-4776(2010)04-0223-05TestModelOptimizationandSpectraStudyofMultilayerStructureonGaNbySpectroscopicEllipsometryZhaoJinxia1,DuJiangfeng2,PengMingming1,ZhuShiping1,MiXia1,XiaJianxin2(,CETC,Shijiazhuang050051,China;,UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,Chengdu610054,China)Abstract:Themeasurementmethodsofn+AlGaN/n-AlGaN/superlattice(SL)/AlN/sapphiremultilayerstructurewereinvestigatedbyspectroscopicellipsometry(SE),andtheSLlayerwastheAlGaN/,arithmeticmodelsanddifferentincidentanglesonthemeasurementresultswereanalyzedbychangingmeasure