文档介绍：学位论文作者签名:荡似学位论文作者签名彩衬乙移签字日期:辍学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得南昌大学或其他教育南昌大学和借阅。本人授权南昌大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标往和致尉的地方外,论文中不包含机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。本学位论文作者完全了解有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所和中国学术期刊馀贪电子杂志社将本学位论文收录剑《中国学位论文全文数据库》和《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》中全文发表,并通过网络向社会公众提供信息服务。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名日·
㈨摘要⒈冉狭斯璩牡譍基险缲贰椋珹疨疉传统同侧结构带来的电流拥挤、电压过高和散热难等问题,非常适合制作大功表明氩气等离子处理⊙嗡崆逑茨苡行У亟档痛只腘极性階种处理方式能降低接触表面势垒高度、并且在界面形成大量瘴唬以谒婧⑼ü湎叻扑懔薔极性脒耪琛缂纬傻姆明欧姆接触具有很好的稳定性,这一结果完全可以满足大功率男枨蟆近年来,牧弦云溆帕嫉墓獾缧阅埽恢笔前氲继宀牧狭煊虻难芯咳点,并且在固态照明领域具有诱人的应用前景。目前多数商业化的鵏通常是在蓝宝石和牡咨希ü谢锘喑粱ぁO啾日饬街殖底,硅衬底不仅具有较低价格、良好的热导性和成熟的生产工艺等优点。而且硅衬底梢苑浅H菀椎淖R频狡渌牡咨现瞥纱怪苯峁筁,有效地解决率⑶易R坪蟮拇怪苯峁剐酒够崾筃极性面朝上,有利于粗化提高出光效率,改善光电性能。而和同侧结构不同的是垂直结构需要在腘极性面制作优良的团纺方哟ィ馊幢仍贕悦嫔侠押芏唷1疚亩怨璩牡鵏詎型欧姆接触进行了系统研究;并初步研究分析了硅衬底β市屠豆釲老化性能。获得的主要研究成果如下:⒍杂诠饣娴腘极性表面,利用稀盐酸清洗,电极不用退火就能获得比接触电阻率低,稳定性好的欧姆接触。⑸钊氲匮芯苛吮砻娲矶宰饣腘极性媾纺方哟サ挠跋欤峁所形成的欧姆接触电阻率,并且使哂形榷ǖ墓ぷ鞯缪梗琗结果表明这的退火过程中能消耗掉活性印⑹状窝芯苛薃缓冲层对团纺方哟サ挠跋欤峁砻鰽缓冲层的存在是硅衬底鵏获得低比接触电阻率、高热稳定性欧姆接触的关键。我们将原因归为:拇嬖谀茏韪裟诓縉原子和原子向外扩散造成的瘴讳蚊鸷虶瘴徊菘瘴缓虶瘴辉贕中分别起施主和受主的作用合金欧姆接触电阻率,一。并且不同温度退火后,结果变化不大,说////电极的性能,结果表明,、芑竦媒系偷呐纺
率未见明显变化,闹鞑ǔけ浠怀.,本文将之归因于硅衬底硅衬底β市痛怪苯峁估豆釲芯片具有优良的可靠性。接触电阻率,且诶匣讨芯哂薪衔榷ǖ墓ぷ鞯缪埂⒈ǖ懒思铀倮匣怨璩牡譕基功率型垂直结构蓝光獾缧阅苡响。结果表明,该芯片封装的、常温下老化螅挥泄察到明显光衰,小电流下外量子效率随老化进行而提高,而大电流下外量子效∧そ虾玫木逯柿浚己玫纳⑷刃砸约敖虾侠淼男酒峁埂W凵纤觯关键词:硅衬底;欧姆接触;裕籊基焕匣阅摘要
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目录第伦凼觥引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.∧さ木褰峁购图浴和剐【木褰峁埂宓募浴瓽欧姆接触形成机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯纺方哟バ纬苫怼纺方哟サ牡缱邮湓朔绞健纺方哟ビ跋煲蛩丶吧杓圃颉欧姆接触的表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.⋯⋯⋯⋯⋯⋯‘⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本论文研究的内容及行文安排⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第卤砻娲矶詎欧姆接触的研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.〗.
引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯方哟パ芯俊极性与詎上的欧姆接触定量研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.〗帷本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。第翧缓冲层对团纺方哟ビ跋臁实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯结果与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯