文档介绍：万方数据
皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用”强激光与粒子束黄秀光,傅思祖�っ爰す馇懈罘椒�叶君建,谢志勇,方智恒,舒桦,材料的状态方程是惯性约束聚变���煊蛑兄匾5难芯磕谌荩��痹谔焯逦锢怼⑿羌饰锢怼⒌厍蛭锢怼⒏�研究的深人,需要应用更复杂的多台阶靶�卜���G筇ń卓矶冉险�约百��,手工切割工艺难以制备合格的第�卷第����年�����密度等离子体及材料科学研究等众多领域具有科学应用价值,国内外开展了广泛的研究�坩�<す庾刺�匠淌�验研究中靶的构型非常丰富,其厚度一般在几肛�郊甘�豰之间,制备的工艺多种多样。如最常用的阻抗匹配靶,由标准材料基底、标准材料台阶和待测材料台阶构成。英国��笛槭也捎梦锢砥�喑粱�岷暇�苎�模技术��珿��就ü�迪鹘岷洗趴亟ι涞墓ひ誟�,中国工程物理研究院激光聚变研究中心的谢军运用真空扩散连接技术����颐窃蚴抢�迷�频慕鹗舯∧そ�芯�芪⒆芭鋄��W杩蛊ヅ渲械奶ń鬃畛醪捎檬止で懈�的方法制备,而这种工艺稳定性差,台阶容易变形,需要大量的筛选才能获得极少量合格的台阶。而随着实验台阶。为研制高质量的台阶,分别调研了微水刀、化学腐蚀和皮秒激光三种工艺切割金属薄膜:微水刀加工的金属薄膜整体均匀性较好,但台阶的边缘有明显毛刺和突起;化学腐蚀一般适用厚度百肚�陨系慕鹗舨牧希�十雎��笥业慕鹗舯∧ふ�宥既芙庠诨�б褐校�皇屎险飧龊穸炔牧系募庸ぃ黄っ爰す饧庸さ慕鹗舯∧ふ�逍�和边缘效果较好,这个厚度范围内各种金属薄膜都能加工,同时激光加工技术在金属薄膜切割和��兄票�中有广泛的应用口���。为此,本文选择皮秒激光加工技术切割宽度为百“�慕鹗舯∧ぷ魑<す庾刺�匠贪�的台阶。��金属薄膜台阶宽度的设计要求现阶段“神光Ⅱ”装置激光和状态方程实验的条件,激光焦斑的有效区域约��頼,就决定靶的有效区域为����。状态方程所需的多台阶靶由基底以及五种不同金属材料组成,材料包括铝、金、锌、银、铜,厚度一般几肛�郊甘�隝�之间,纯度�.�ヒ陨希�芏任2牧系睦砺勖芏龋�缤�所示。物理实验需取五个台阶和基底共六个区域的数据,为了保证实验的可靠性和精度,尽可能在有效区域取最宽的区域,平均每个台阶宽约为��躀�,由于加工和装配的误差,确定中间三个台阶宽度为���,边缘台阶宽度增加虽不影响实验数据,但考虑材料的利用率与靶制备的方便性,宽度为��莔。��金属薄膜台阶的切割方法切割金属薄膜采用德龙公司开发的皮秒激光微加工系统,系统由������皮秒激光器、控制系统、光学系统、加工平台和显微观测等几部分构成。激光器参数:激光功率为����隹韑��,波长为绿光和紫外可选。加工原理如图��荆�す馄魇涑龉馐����饴酚删劢咕稻劢梗�ü�晕⑾低澈推教ńü馐��焦在样品表面,同时控制振镜的转动实现激光束的运动从而加工满足一定图形要求的样品。皮秒切割金属薄膜材料具体工艺如下:将抛光的金属薄膜展平在玻璃基板上,放置在加工平台上;通过��砑�既肭懈畹�摘要:介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法。采用皮秒激光加工技术切割了宽度百牡�考兜慕鹗舯∧ぬń祝�芯苛私鹗舯∧ぬń卓矶瓤刂频姆椒ǎ�致哿饲懈罟�讨胁��刃вΦ囊蛩兀�呕�了激光加工参数。实验加工中,采用加工的参数:功率为���,波长���,扫描速率为���/��竦昧丝矶���和���的金属薄膜。测量结果表明,金属薄膜的宽度