文档介绍：⑧给免论文作者签名:指导教师签名::委员
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焱毛学位论文作者签名:籀过乞鲁浙江大学研究生学位论文独创性声明伽年弓月≯明学位论文版权使用授权书甓嘣录ト果,也不包含为获得澎姿盘堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一本学位论文作者完全了解逝姿盘堂论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权澎姿态堂可以将学位论文的如本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签字日期:有权保留并向国家有关部门或机构送交本全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ学位论文作者签名:导师签名:.、
致谢最后,谨以此文献给我的母校——浙江大学,感谢母校提供的国内一流的研究条件、值此论文定稿之际,衷心地感谢我的导师应济副研究员。在我为期近三年的硕士学位攻读期间,应老师给予了我悉心的指导和热情的关怀,使我顺利开展课题并完成了学位论文。应老师渊博的学识、严谨的治学态度和豁达的胸怀给我留下了无比深刻的印象,使我受益匪浅,是我永远学习的榜样。在此,再次向尊敬的应济老师致以最衷心的感谢和最崇高的敬意,真心地祝愿应老师工作顺利、身体健康、家庭美满特别感谢浙江大学化学系殷学锋教授的无私指导和悉心帮助,殷老师在微流控分析领域的造诣让许多人难以望其项背,而他的一番教导让我受益良多。在此,特别要感谢殷老师提供的微流控芯片制作工艺方面的宝贵经验以及芯片系统集成设计的耐心指导,让我找到了解决问题的关键和方向,才得以顺利地完成课题研究。感谢浙江大学金工中心的周济烈老师、倪义华老师和浙江大学化学系的沈宏老师,感谢他们在学习和科研上给予我的热情鼓励和无私帮助。老师们扎实的理论知识,乐于助人,不计功利的品质使我深为叹服,在此对他们表示由衷的谢意。感谢已经毕业的李俊师兄、周伟安师兄、柯敏师姐,感谢他们引领我研究生生活的开始,对于我学习和课题研究提供积极的引导和帮助;感谢同一个实验室的师兄、师弟和师妹们,他们是王杨、王硕、王海波、杨景华、黄娜莎、吴良科、宋芳芳、蔡侃、彭新源、曹操、孙明涛、焦志凯、谢瑞木、胡冬、过海,感谢化学系微流控分析课题组的师兄、师姐和师妹们,他们是张磊、戚丽雅、徐春秀、王修中、程和勇、胡红美、宋小莉、余雅玲、郝丽,感谢他们在研究和生活中给予的热情支持,让我感受到了集体生活的温暖和团队精神的可贵,让我能够心情舒畅地投入课题研究中。真诚地感谢我的父母,他们在物质上、精神上的无私支持和奉献才让我得以顺利完成学业。自己今后将努力工作,创出成绩回报祖国,不辜负父母的一片的苦心。学习氛围和生活环境,让我有机会与众多杰出的同龄人一起生活、一起学习、一起进步,让我积累了人生的第一笔财富。感谢母校提供的高平台和就业机会,让我有机会进入更高层次的工作岗位展现自己的才华。徐亮月于浙大求是园浙江大学硕士学位论文
摘要关键词:无阀微泵;压电驱动;湿法刻蚀;薄膜;微流控芯片微流控芯片是微全分析系统中的重要组成部分,它以微机电技术为基础,具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度快等特点,在生物医学检测、药物合成及成分鉴定、微量药物控释和化学分析等领域有广泛的应用前景。作为微流控芯片的动力源,微泵的性能直接关系到整个微流控系统的工作特性,一直是该领域研究的热点。本文以面向微流控芯片的压电无阀微泵为研究对象,完成了对压电无阀微泵的优化设计和样机的研制,并以微流控芯片为应用目标,从结构和工艺两个方面,探讨了无阎微泵集成化应用的问题。具体展开的工作主要有以下几个方面:简单地阐述了无阀微泵的工作原理,并以流体力学理论为基础,推导了无阀微泵的输出流量方程;对压电蜂鸣片的结构特性和使用方式、扩张管/收缩管结构特性和尺寸优化设计进行了重点的分析,并在此基础上,提出了压电无阎微泵的结构设计方案。通过对玻璃及其性质的分析,采用光刻和湿法刻蚀工艺,对玻璃微加工工艺进行了研究,获得了具有较高表面质量的玻璃深度湿法刻蚀工艺,建立了玻璃与玻璃、玻璃与的高效键合工艺路线,为微泵样机的制作提供了有力的工艺支持。选用商品化的制作材料,以较低的成本制作出压电无阀微泵的样机;同时,研制了多波形、频率和幅值连续可调的