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摘要声表面波谐振型微质量传感器是声表面波技术发展的产物。利用质量沉积效应,使器件达到测量微质量的目的。设计一个性能良好的传感器,减小插入损耗,增大凳枪键因素。与滤波器结构相比,该传感器采用谐振型结构,产生了蹈摺⒉迦胨鸷男〉波形,在无外围振荡电路的情况下可以满足测量要求,该器件主要应用在化学测量中。本文利用P头治鲂痴衿鹘峁梗扑懔似骷姆绕德氏煊Γ玫狡骷钠德响应曲线,并使用材料做基底制作了四种结构参数不同的器件。为了补偿温度等外界环境因素对器件频率特性的影响,器件采用双声路结构,包括测量声路和参考声路。在器件结构参数确定后,绘制器件版图,用于制作掩膜版。利用射频网络分析仪测试系统测试了器件的结构对称性、温度频率特性和质量频率特性。测试结果表明四类器件两声路的对称性良好,中心频率处频率响应曲线基本吻合。和牌骷ド肺露认凳直鹪嘉.、.路温度补偿系数分别约为.、./。补偿后温度系数与单声路温度系数相比要小的多,基本消除了环境温度对测量结果的影响。。号经门函数处理之后平均灵敏度分别约为./传感器的质量沉积效应灵敏度曲线线性度良好。关键词:声表面波;谐振器;微质量传感器;质量沉积效应;灵敏度雒●
小西安理工大学硕士学位论文‘旧,
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⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯芯片加工工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..笛榻樯堋矢量网络分析仪简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.对以后工作的展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..附录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.噶客绶治鲆嵌許器件的测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..性能对比⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.槊舳忍匦远员取西安理工大学硕士学位论文.■●一
把研究背景及意义声表面波,是一种能量集中于媒质表面传播,振幅随深度呈指数衰减的弹性波。年由英国物理学家瑞利最早在研究地震波中发现了声表面波,又称瑞利波I砻娌ḿ际跏徊嫘匝Э疲婕傲松А⒐庋А⒌缱友Ш桶导体集成电路平面工艺学等领域的知识。其中ǜ衅魇荢器件的一个新的应用分支。声表面波传感器主要是利用声表面波器件频率特性受外界力学量、热学量、电学量、化学量和生物量的影响而变化的激励,来达到检测物理量、化学量和生物量的目的相对于其他传感器,声表面波传感器具有小型化、高精度、可靠性好、数字输出、功耗低、便于大规模生产等特点,成为当代传感器的重要支柱之一。经过三十多年的发展,声表面波器件已经应用到各种抗干扰和保密性的电子系统中,有的已经实现了商业化。在通信、制导遥测及雷达等领域都有骷挠τ冕,如:电视接收机、移动和无线通信系统、卫星通信和定位系统、脉冲压缩雷达系统和遥测遥控系统等。随着声表面波技术的发展,制造成本的降低,声表面波器件的应用领域